EBARA 荏原半導(dǎo)體用干式真空泵，是面向高潔凈真空制程開發(fā)的無油真空獲取設(shè)備，核心由多級(jí)螺桿壓縮單元、驅(qū)動(dòng)電機(jī)、排氣處理模塊、冷卻系統(tǒng)、控制單元五大結(jié)構(gòu)組成，區(qū)別于傳統(tǒng)油式真空泵，設(shè)備氣路全程無潤滑油參與，可從源頭避免油蒸氣污染真空腔體，適配晶圓制造、真空鍍膜、刻蝕等對(duì)潔凈度要求較高的制程場景，是半導(dǎo)體制程真空系統(tǒng)的核心配套設(shè)備。

設(shè)備核心運(yùn)行邏輯為多級(jí)螺桿逐級(jí)壓縮，兩根平行螺桿在泵腔內(nèi)同步嚙合轉(zhuǎn)動(dòng)，螺桿與泵腔之間保留微小間隙，無接觸摩擦，通過螺桿齒槽容積變化，實(shí)現(xiàn)進(jìn)氣端到排氣端的逐級(jí)壓縮，逐步將腔體氣體排出，形成穩(wěn)定真空環(huán)境。螺桿采用專用型線設(shè)計(jì)，壓縮效率表現(xiàn)優(yōu)良，運(yùn)行過程振動(dòng)小、噪音低，可長時(shí)間連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行。設(shè)備采用氣冷 + 水冷組合冷卻結(jié)構(gòu)，可有效帶走壓縮產(chǎn)生的熱量，控制泵體溫度，避免高溫造成的介質(zhì)反應(yīng)與設(shè)備損耗。

潔凈度控制方面，設(shè)備全氣路采用金屬密封結(jié)構(gòu)，無橡膠密封件的揮發(fā)污染，泵腔內(nèi)表面經(jīng)過特殊拋光處理，表面光潔度高，不易附著顆粒與污染物，可滿足 Class 1 級(jí)潔凈室的使用要求。排氣端配套專用尾氣處理接口，可對(duì)接廠務(wù)廢氣處理系統(tǒng)，處理制程產(chǎn)生的腐蝕性、有毒性氣體，保障廠區(qū)環(huán)境安全。設(shè)備內(nèi)置多種傳感器，可實(shí)時(shí)監(jiān)測泵體溫度、電流、排氣壓力等參數(shù)，出現(xiàn)異常時(shí)自動(dòng)觸發(fā)保護(hù)機(jī)制，降低設(shè)備故障風(fēng)險(xiǎn)。

在半導(dǎo)體制程場景中，晶圓鍍膜、刻蝕、沉積等工序?qū)φ婵窄h(huán)境潔凈度要求嚴(yán)苛，傳統(tǒng)油式真空泵易產(chǎn)生油蒸氣回流，污染晶圓表面，造成產(chǎn)品良率下降，且油泵需要定期更換潤滑油，運(yùn)維成本高、停機(jī)時(shí)間長。荏原干式真空泵無油潔凈設(shè)計(jì)，可避免油污染風(fēng)險(xiǎn)，設(shè)備易損件少，維護(hù)周期長，可適配 24 小時(shí)連續(xù)生產(chǎn)的產(chǎn)線需求。設(shè)備抽速規(guī)格覆蓋寬區(qū)間，可根據(jù)腔體大小、制程要求靈活選型，也可多臺(tái)并聯(lián)組成真空機(jī)組，適配大腔體高真空需求。

產(chǎn)品體系方面，干式真空泵涵蓋小型實(shí)驗(yàn)室機(jī)型、中型量產(chǎn)機(jī)型、大型制程專用機(jī)型，抽速覆蓋每小時(shí)數(shù)十立方米至數(shù)千立方米區(qū)間，配套真空計(jì)、閥門、過濾裝置等輔件，可組成完整的真空系統(tǒng)。當(dāng)前半導(dǎo)體制程持續(xù)向更小制程節(jié)點(diǎn)升級(jí)，對(duì)真空潔凈度、穩(wěn)定性要求不斷提升，無油干式真空設(shè)備逐步替代傳統(tǒng)油式泵，荏原干式真空泵憑借潔凈度高、運(yùn)行穩(wěn)定、運(yùn)維成本低的特性，廣泛適配半導(dǎo)體、顯示面板、新材料等前沿制造的真空制程需求。

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荏原半導(dǎo)體干式真空泵結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與潔凈制程適配解析

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