日崎推薦:DIC迪愛生 SEPAREL PF-26F (T) 化學制劑溶劑脫氣模組 解決方案
日崎推薦:DIC迪愛生 SEPAREL PF-26F (T) 化學制劑溶劑脫氣模組 解決方案
隨著半導體、顯示、精密涂布工藝標準持續升級,管路藥液內溶解氧氣、二氧化碳以及微小氣泡,極易造成涂布針孔、線路斷線、噴頭堵塞、藥液提前氧化變質等不良缺陷。DIC 迪愛生 PF-26F (T) 作為 PF-F 系列低壓損改良款中空纖維脫氣模組,依托全氟樹脂耐腐蝕構造,成為腐蝕性有機溶劑、酸堿藥液在線連續脫氣優選方案。
產品基礎信息與技術原理
PF-26F (T) 為內灌流式脫氣模組,液體流經 PTFE 中空纖維內腔,模組外部建立真空環境,依靠氣體分壓差選擇性透過膜層,脫除流體內部溶解氣體;致密表皮膜結構可以抑制溶劑滲透流失,穩定藥液濃度。型號后綴(T)代表內部流道優化升級,相比標準型號有效降低管路壓力損失。
核心技術參數
適用流量:1~500mL/min
最大承壓:0.294MPa
使用溫度區間:5~40℃
接液材質:PTFE 氟樹脂(無任何金屬接觸介質,杜絕金屬離子溶出污染)
液體接口:10mm 支柱接頭;真空接口:Rc1/4 內螺紋
核心產品優勢
1、廣譜耐化學腐蝕
全部流體接觸部件采用氟樹脂材質,兼容強酸、強堿、IPA、PGMEA、光刻膠、各類稀釋劑、溶劑型墨水,適配多樣化腐蝕性流體工況。
2、低壓損流道設計,適配低壓循環系統
優化內部流體通道,輸送阻力更低,減輕計量泵負載,特別適合高粘度光刻藥液、低壓密閉循環供液回路,長期運行工況更穩定。
3、支持反向沖洗,便于維護保養
內灌流結構允許定期反向沖洗膜組件,清除膜面細微析出物與雜質,延緩膜元件堵塞,延長模組使用壽命,減少更換頻次。
4、結構緊湊,易于產線集成
圓柱形標準化殼體,體積適中,可直接串聯集成于自動化藥液供給管路;支持多支模組串聯擴容,匹配不同產線流量需求。
重點應用領域
1、半導體晶圓制造
光刻膠供給回路、顯影液、剝離液、蝕刻藥液在線持續脫氣。消除管路微氣泡,規避晶圓曝光線路缺陷、表面針孔,保障涂膠、濕法清洗工藝一致性。
2、LCD/OLED 顯示面板生產
感光藥液、清洗劑、稀釋溶劑持續脫泡,避免氣泡造成薄膜涂布厚薄不均,提升光學膜層生產良率。
3、工業溶劑噴墨打印
電子線路噴墨、工業數碼印刷墨水脫氣,消除溶解氣體,解決打印斷墨、白點瑕疵,保護精密噴墨噴頭。
4、新能源精密涂布工藝
鋰電池隔膜、功能薄膜溶劑管路脫氣,預防涂層縮孔、氣泡缺陷,穩定薄膜產品品質。
5、精細化工與分析設備
有機試劑輸送系統、實驗室連續合成裝置流體預處理,降低溶劑氧化速度,維持藥液組分穩定。
行業應用價值總結
傳統脫氣元件普遍存在耐溶劑能力不足、運行壓力損耗大、易引入金屬污染等短板,難以適配精密電子腐蝕性藥液工況。
PF-26F (T) 兼顧全氟耐蝕特性與低壓損運行優勢,實現流體在線持續脫氣除泡。在制造業制程精度不斷提升的背景下,該款脫氣模組廣泛配套各類藥液循環系統,助力企業降低不良率,實現工藝穩定管控。
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