一、產(chǎn)品概述

SE1000 為 TEM-TECH 研發(fā)的小型高精度絕對壓力傳感器，面向潔凈工藝氣體與真空監(jiān)測場景打造。產(chǎn)品采用全金屬隔膜一體化密封結(jié)構(gòu)，有效規(guī)避密封件析出污染問題，具備極低泄漏特性，能夠持續(xù)穩(wěn)定監(jiān)測真空腔體、高純氣體管路壓力。系列擁有 SE1000SMV、SE1000SMU 多款細(xì)分型號，量程、輸出信號、工藝接口支持多樣化選配，方便集成至各類精密自動化制程設(shè)備。

二、核心技術(shù)參數(shù)

1、壓力性能參數(shù)

測量形式：絕對壓力

標(biāo)準(zhǔn)量程：0～1000Torr（0～200kPaA）

綜合精度：±0.2% FS～±0.5% FS，包含線性、滯后、重復(fù)性誤差

允許過載壓力：2 倍額定壓力

響應(yīng)特性：毫秒級快速響應(yīng)，滿足工藝閉環(huán)調(diào)控需求

2、電氣規(guī)格

供電電壓：DC15～24V

可選信號輸出：4～20mA 兩線制、1～5VDC、0～10VDC

3、材質(zhì)與密封指標(biāo)

接液主體、隔膜：SUS316L 精煉不銹鋼，可選哈氏合金隔膜

密封方式：電子束熔接一體密封

漏率：＜5×10?12 Pa?m3/sec

接觸面光潔度 Ra＜0.25μm，減少氣體吸附與微粒產(chǎn)生

4、環(huán)境條件

工作溫度：0～60℃（無凝露）

儲存溫度：0～80℃

溫度漂移：≤±0.05% FS/℃

防護(hù)等級：IP55

接口方案：支持可拆卸連接器直出線纜；工藝接口可選 VCR、標(biāo)準(zhǔn)外螺紋等規(guī)格

三、核心技術(shù)優(yōu)勢

1、高潔凈低泄漏構(gòu)造，適配高純工藝環(huán)境

采用無墊片全金屬熔接結(jié)構(gòu)，不存在密封圈釋放污染物風(fēng)險，超低漏率可阻擋外部空氣侵入真空管路，保障工藝氣體純度，契合半導(dǎo)體潔凈生產(chǎn)要求。

2、緊湊型機(jī)身，設(shè)備改造安裝便捷

整體體積小巧，可安裝在負(fù)載鎖、氣體分配模組等狹小空間，便于新設(shè)備配套與老舊產(chǎn)線升級加裝。

3、輸出方案豐富，兼容主流控制系統(tǒng)

多種模擬信號可選，可直接對接 PLC 與工業(yè)采集設(shè)備；豐富的工藝接頭選型，可匹配現(xiàn)有管路，減少轉(zhuǎn)接配件使用。

4、維護(hù)便利性突出

線纜與傳感主體分離設(shè)計，線纜損壞可單獨(dú)更換，無需整體拆卸傳感器。設(shè)備支持現(xiàn)場零點(diǎn)微調(diào)，方便周期性校準(zhǔn)作業(yè)。

5、長期運(yùn)行穩(wěn)定性優(yōu)良

優(yōu)化隔膜應(yīng)力結(jié)構(gòu)，長時間持續(xù)承壓下漂移量可控，支持全天候不間斷產(chǎn)線運(yùn)行，降低校準(zhǔn)頻次。

四、重點(diǎn)應(yīng)用領(lǐng)域

1、半導(dǎo)體制造領(lǐng)域

負(fù)載鎖真空腔體壓力監(jiān)測；工藝氣體輸送管路壓力監(jiān)控；刻蝕、薄膜沉積設(shè)備真空壓力檢測，依托壓力信號實(shí)現(xiàn)腔體工藝條件閉環(huán)調(diào)節(jié)，穩(wěn)定生產(chǎn)良率。

2、真空鍍膜行業(yè)

光學(xué)薄膜、功能涂層鍍膜機(jī)腔體真空監(jiān)測；濺射設(shè)備工藝供氣壓力實(shí)時采集，保障鍍膜工藝一致性。

3、高純氣體供氣系統(tǒng)

鋰電、光伏產(chǎn)線惰性氣體、特種工藝氣體管路壓力監(jiān)測，監(jiān)控供氣壓力波動，保障生產(chǎn)連續(xù)運(yùn)行。

4、科研真空實(shí)驗設(shè)備

實(shí)驗室真空腔體、氣體模擬試驗臺壓力測量，滿足精密實(shí)驗環(huán)境參數(shù)管控需求。

五、使用技術(shù)注意事項

1、安裝過程避免大力沖擊隔膜端面，防止內(nèi)部傳感元件受損；

2、控制工況環(huán)境，避免水汽凝露附著傳感器表面；

3、測量腐蝕性特種氣體工況，優(yōu)先選擇哈氏合金隔膜型號；

4、定期開展零點(diǎn)校驗，保障長期測量精度。