13027923555
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| 供貨周期 | 一個月 | 規格 | 看參數 |
|---|---|---|---|
| 貨號 | 1302s79s23z555 | 應用領域 | 綜合 |
| 主要用途 | 半導體 |
日本全新MIYUKI美幸輝薄型氣動真空閥
日本全新MIYUKI美幸輝薄型氣動真空閥
L-I63 氣動真空閘閥，采用超薄緊湊閥體結構，有效節省設備軸向安裝空間。閥門啟閉過程僅密封面相互接觸，減少顆粒物產生，適配潔凈真空制程；閥座采用均衡球壓密封結構，正向、反向壓差工況均可維持可靠密封，適用壓力區間覆蓋常壓至 1×10??Pa，廣泛用于各類真空腔體、工藝管路通斷隔離。
L 系列：薄型氣動真空閘閥系列
I：ISO-F 標準法蘭安裝形式
63：公稱通徑 DN63
薄型輕量化設計
閥體厚度小，便于真空腔體、狹小設備內部布局，適配緊湊型自動化設備集成。
低粉塵潔凈構造
閥板運行無持續摩擦接觸，減少微粒析出，匹配鍍膜、半導體、鋰電材料潔凈工藝需求。
雙向密封能力良好
閥座均衡受壓結構，可承受上下游壓差，抽氣隔離、破空管路均可穩定使用。
低放氣內腔工藝
不銹鋼內腔鏡面拋光，降低氣體吸附釋放，保障真空腔體壓力穩定。
維護便捷
密封組件模塊化設計，更換密封圈無需整體拆除閥門，降低停機維護時長。
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