進口原廠MIYUKI美幸輝氣動真空控制閥

進口原廠MIYUKI美幸輝氣動真空控制閥

G-I80 氣動伺服真空蝶閥，依靠潔凈壓縮空氣驅動伺服氣缸，實現 0°～90° 任意開度鎖定，完成真空管路流量連續調控。適用區間覆蓋常壓至 1×10??Pa，適配中高流量真空腔體與工藝管路，廣泛配套光學鍍膜、半導體、鋰電新材料、精細化工自動化產線，用于腔體真空壓力動態平衡、載氣流量微調。閥體潔凈構造，低微粒析出，契合潔凈真空制程。

特點

氣動伺服無級流量調控

0～90° 開度連續可調，可配合真空計搭建 PID 閉環穩壓系統，穩定腔體真空度，降低工藝波動帶來的品質差異。

球面多點壓緊密封結構

正向、反向壓差工況均可維持密封性能，保壓表現穩定。

潔凈低釋氣設計

內腔鏡面拋光，無積塵死角，方便清潔，適配鍍膜、鋰電、半導體潔凈制程。

安裝靈活、布局便捷

水平、垂直、側向均可裝配，適配各類反應釜與真空管路布局。

運維壓力可控無復雜電機驅動結構，相比電動調節閥采購成本與運維投入更為友好。

1. 光學鍍膜、濺射蒸鍍產線真空壓力連續調控；2. 半導體等離子工藝、UV 樹脂、光刻膠、鋰電涂布液生產設備；3. 膠粘劑、功能性涂料多條連續化真空合成生產線；4. 中試反應設備、高校科研真空實驗平臺壓力調節。