特點

氣動伺服無級調節

0°～90° 連續開度可調，可穩定調控真空抽速與進氣流量，實現腔體壓力動態平衡，搭建真空 PID 閉環工藝。

大通導、抽氣效率良好

閥體結構流導充足，縮短腔體抽氣周期，利于提升產線運行效率。

雙向密封結構

蝶板球面多點壓緊機構，承受上下游壓差時密封狀態穩定，保壓表現平穩。

低釋氣潔凈構造

內腔拋光處理，減少氣體吸附析出，適配鍍膜、半導體、鋰電材料潔凈真空制程。

布局靈活

水平、垂直、側向均可裝配，適配大型反應釜、真空管路多種安裝場景。

行業應用

1. 光學鍍膜、濺射蒸鍍生產線真空壓力連續調控；2. 半導體等離子工藝、光刻膠、功能性樹脂合成真空系統；3. 鋰電材料涂布液、脫泡、干燥真空腔體流量調節；4. 膠粘劑、溶劑型涂料連續化中試與量產產線；5. 高校、科研機構真空實驗平臺壓力精準控制。