標準工藝級超高真空泵?DN 100 CF-F 金屬密封法蘭?現貨全國供應

德國普發（Pfeiffer Vacuum）Hipace 300 高性能渦輪分子泵，是半導體專用超高真空泵分子泵。北京艾禾真空面向全國客戶現貨供應。該型號為標準工藝流程版本，進氣口采用 DN 100 CF-F 金屬密封法蘭，氮氣抽速最高可達 260 l/s，極限真空度低至 5×10?1? hPa，是半導體制造、科研實驗、真空鍍膜、分析儀器等領域實現超高真空環境的可靠之選。

一、核心性能：超高真空度，均衡抽氣表現

Hipace 300 作為普發 Hipace 系列中的標準工藝型號，兼顧抽速性能與極限真空能力，適配大多數工業與科研超高真空場景：

· 氮氣抽速 260 l/s，氦氣抽速 255 l/s，氫氣抽速 220 l/s，氬氣抽速 255 l/s，多氣體抽速表現均衡

· 極限真空度可達 5×10?1? hPa，遠超常規高真空泵水平，滿足超高真空（UHV）級別工藝要求

· 氮氣壓縮比 1×1011，氬氣壓縮比 1×1011，氦氣壓縮比 1×10?，對輕重氣體均具備出色壓縮能力

· 整體泄漏率 1×10?? Pa?m3/s，配合 CF-F 金屬密封法蘭，系統長期密封性有保障

· 干式抽氣原理，無油無污染，確保真空腔體潔凈，適用于對潔凈度要求嚴格的工藝環境

得益于 CF-F（ConFlat-Flange）金屬密封法蘭設計，Hipace 300 的進氣口采用銅墊圈面密封形式，相比橡膠密封法蘭具備更高的耐溫性、更低的放氣率與更優的長期密封可靠性，是超高真空系統的標準接口配置。

二、集成驅動：TC 110 電子單元，智能高效

Hipace 300 標配 TC 110 集成電子驅動單元，將變頻器、控制電路與保護系統全部集成于泵體內部，系統集成度高，安裝接線簡便：

· 24V DC 直流供電（±10%），最大功耗僅 180W，能效優異，運行成本低

· 額定轉速 60,000 rpm，轉速可在 35%–100% 范圍內連續調節，靈活匹配不同抽氣負荷

· 冷啟動時間僅 3.5 分鐘，快速達到額定工作轉速，提升設備開機效率

· 混合軸承技術，融合陶瓷球與潤滑脂潤滑方案，運轉平穩、壽命持久

· RS-485 標準通信接口，支持遠程參數設置與狀態監控；可選 Profibus、DeviceNet、E74 等擴展接口，無縫接入各類工業自動化控制系統

· 多重保護機制：過溫、過流、過載保護等有相應措施，保障泵體安全穩定運行

三、靈活安裝，低噪運行

Hipace 300 DN100 CF-F 半導體專用超高真空泵分子泵在結構設計上充分考慮工業現場的多樣化安裝需求：

· 任意方向安裝：立式、臥式、倒置均可正常運行，不受安裝姿態限制，為設備集成提供極大自由度

· 自然對流冷卻為標準配置，無需額外冷卻附件即可滿足常規工況；可選水冷或強制風冷方案，應對高負荷連續運行場景

· 水冷工況下冷卻水流量僅需 50 l/h，水溫適應范圍 15–35°C，配套要求低

· 運行噪音 ≤ 50 dB (A)（符合 EN ISO 2151 標準），靜音表現出色，實驗室與潔凈室環境友好

· 防護等級 IP44 / Type 12，具備基礎防塵防濺能力，適應多種工業現場環境

· 泵體凈重約 8.2 kg，結構緊湊堅固，便于搬運與安裝

四、典型應用領域

Hipace 300 DN 100 CF-F 渦輪分子泵憑借均衡的性能參數與可靠的金屬密封接口，廣泛適用于以下領域：

· 半導體制造工藝：刻蝕、CVD/PVD 沉積、離子注入、晶圓檢測等超高真空腔體

· 真空鍍膜行業：磁控濺射、電子束蒸發、光學鍍膜、硬質涂層設備

· 科研與高校實驗室：表面科學分析、質譜儀、電子顯微鏡、同步輻射光束線

· 真空冶金與熱處理：真空釬焊、真空燒結、真空退火、真空熔煉

· 分析儀器與檢漏系統：殘余氣體分析儀（RGA）、氦質譜檢漏儀高真空端

五、艾禾真空服務承諾：現貨?質保?售后無憂

艾禾真空技術有限公司作為專業真空設備供應商，致力于為全國客戶提供高效、可靠的真空設備采購與服務體驗：

· 全國現貨供應：常備 Hipace 300 系列庫存，下單即可安排發貨，省去進口等待周期，緊急項目優先出庫

· 原廠正品保障：全部設備為普發原廠全新產品，隨附出廠合格證、技術手冊與質保文件

· 一年整機質保：自設備交付之日起提供 12 個月質量保證，非人為故障免費維修或更換

· 售后服務體系：專業技術團隊全程支持，涵蓋售前選型咨詢、安裝開機指導、故障排查維修與定期維護建議

· 一站式配套采購：配套前級干泵、真空測量規管、真空閥門、CF 法蘭管件、銅墊圈等周邊產品，滿足整套真空系統搭建需求

無論您是設備集成商、生產制造企業還是科研院所，艾禾真空都能為您提供專業的產品方案與快速的交付保障。如需 Hipace 300 詳細技術資料、報價與貨期確認，歡迎隨時聯系我們的銷售團隊獲取一對一服務。

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