MFM 質量流量計只做流量檢測;MFC 質量流量控制器 = 流量計 + 閉環控制閥,既能測流量,又可以自動穩定控制流量,二者經常容易混淆,均采用熱式氣體質量傳感,測量為質量流量,不受溫度、壓力變化帶來體積流量誤差。
質量流量計 MFM內部搭載熱式流量傳感器,沒有流量調節閥門,僅負責檢測氣體實際質量流量,輸出流量信號給到上位機。當上游氣源壓力波動時,管路實際流量會跟隨壓力發生變化,設備只能采集讀數,無法自動把流量維持在設定數值。多用于工藝流量記錄、氣體消耗量統計、流量監控,不能做閉環控流。科賦樂 5400、8500 系列屬于 MFM 質量流量計。
質量流量控制器 MFC集成流量傳感器、驅動比例閥、控制電路板,屬于閉環控制單元。外部輸入流量設定信號,控制器對比設定流量與傳感器采集的實際流量差值,實時調整內置閥門開度。即使進氣壓力、環境溫度出現波動,也能夠把輸出氣體穩定在目標流量,斷電時內置閥門為常閉狀態,自動切斷氣路,提升工藝安全。
KOFLOC 科賦樂主流 MFC 系列3660 系列:通用經濟型,體積小巧,常閉閥,響應速度快,適配實驗室、分析儀器、科研裝置,支持低壓差規格。EX 系列:數字型全金屬密封,RS485 通訊,精度 ±1% SP,可應對腐蝕性氣體,多用于半導體、鍍膜工藝。ST?500PI 系列:壓力不敏感型 MFC,內置壓力補償,氣源壓力波動也可以保持流量穩定,全金屬隔膜密封,泄漏率低,半導體、鋰電設備使用較多。DF?300 系列:機身自帶數顯屏幕,本機可直接設置流量,模擬、數字雙接口,現場調試便捷。
科賦樂產品核心優勢熱式傳感無運動部件,機械磨損小,零點漂移表現穩定;閥體常閉結構,斷電自動關氣;密封配置豐富,橡膠密封用于普通氣體,全金屬電解拋光密封用于高純、腐蝕性氣體;支持 0?5V、4?20mA 模擬信號與 RS485 數字通訊;提供低壓差型號,適合供氣壓力偏低的系統。
應用領域半導體真空工藝、動態氣體配比裝置、實驗室氣氛反應設備、鋰電池生產、燃料電池測試、環境在線監測儀器、分析檢測設備。
立即詢價
您提交后,專屬客服將第一時間為您服務