與功能僅限于開啟和關(guān)閉的真空隔離閥不同，真空控制閥可以控制體積流量。這通常是通過縮小或擴(kuò)大閥道來實(shí)現(xiàn)的。控制范圍取決于控制閥的設(shè)計(jì)原理，也稱為可用導(dǎo)通譜。導(dǎo)通譜較大的閥門通常比導(dǎo)通譜較小的閥門能夠?qū)崿F(xiàn)更精細(xì)的體積控制。然而，閥門控制的精細(xì)度和精度也取決于其設(shè)計(jì)原理和驅(qū)動(dòng)方式。真空控制閥主要采用電動(dòng)驅(qū)動(dòng)，因?yàn)殡妱?dòng)驅(qū)動(dòng)通常可以實(shí)現(xiàn)閥板非常精細(xì)且快速的位置變化。這兩點(diǎn)對(duì)于精確控制至關(guān)重要。除了電動(dòng)控制閥之外，還有氣動(dòng)解決方案（例如，將閥板移動(dòng)到預(yù)先設(shè)定的控制位置）或手動(dòng)解決方案。真空控制閥還可以分為純控制閥（不具備隔離功能，即它們永遠(yuǎn)不會(huì)密封，始終允許最小殘余流量）和控制隔離閥（能夠切斷流量）。

真空控制閥的設(shè)計(jì)多種多樣，因?yàn)檎婵障到y(tǒng)的控制要求可能差異很大。因此，在選擇真空控制閥時(shí)，以下標(biāo)準(zhǔn)至關(guān)重要：

1. 閥門控制的最大壓差。如果閥門還具有隔離功能，則該壓差不一定是閥門關(guān)閉時(shí)所能承受的最大壓差。

2. 所需電導(dǎo)譜的大小，控制范圍

3. 流量的大小

4. 改變體積流量的速度

5. 對(duì)體積流中副產(chǎn)物或一般腐蝕性介質(zhì)的抵抗力

6. 對(duì)流動(dòng)變化（例如由控制過程引起的湍流）的敏感性

7. 對(duì)可能通過閥門排放的顆粒物的敏感性

8. 閥門的使用環(huán)境溫度以及閥門需要控制的環(huán)境溫度

9. 可控性類型可以是線性流量變化或動(dòng)態(tài)變化，其中控制速度可以獨(dú)立于閥板位置進(jìn)行控制，即所謂的控制曲線。