蝶閥 蝶閥
可在各種工況下實現(xiàn)極其精確快速的壓力控制。閥板作為節(jié)流元件，調(diào)節(jié)閥門的開度。蝶閥內(nèi)置的壓力控制器計算所需的閥板位置，從而優(yōu)化實現(xiàn)所需壓力。

高壓蝶閥和隔離閥
高壓蝶閥和隔離閥可在各種工況下實現(xiàn)的壓力控制。閥板作為節(jié)流元件，調(diào)節(jié)閥門的開度。閥門內(nèi)置的壓力控制器計算所需的閥板位置，從而優(yōu)化實現(xiàn)所需壓力。

閥門的附加隔離功能避免了蝶閥常見的密封件磨損問題。偏心閥板軸以及閥體和密封座的特殊幾何形狀最大限度地減少了密封摩擦，同時提高了密封性能。高壓角閥

高壓
角閥專為高壓高溫應用場景而設計，例如原子層沉積 (ALD) 或化學氣相沉積 (CVD) 工藝。因此，即使在最高工作溫度下，高壓角閥也能提供極其精確的壓力控制性能。

高壓控制閘閥
高壓控制閘閥推薦用于半導體生產(chǎn)中濺射和蝕刻等標準真空工藝的高循環(huán)真空控制和隔離。高壓控制閘閥滿足耐用性、模塊化和易維護性的標準要求，并且具有高可用性和低運行成本的優(yōu)勢。

超高真空控制閘閥
超高真空控制閘閥可確保半導體生產(chǎn)中濺射或極紫外光刻等超高真空工藝的精確控制和隔離。超高真空控制閘閥滿足耐用性、模塊化和易維護性的標準要求，并且具有高可用性和低運行成本的優(yōu)勢。

高壓擺式控制閥
高壓擺式控制閥可優(yōu)化下游壓力控制和真空隔離，尤其適用于半導體和顯示器生產(chǎn)。高壓擺式控制閥可在寬廣的電導范圍內(nèi)提供寬廣的控制范圍。

流對稱控制
閥 通過優(yōu)化流量的壓力控制確保最高的質量和生產(chǎn)效率，也可作為下游控制閥和隔離閥使用。

高壓控制與隔離閥組合系統(tǒng)
高壓控制與隔離閥組合系統(tǒng)融合了控制閥和隔離閥的最佳特性。兩種閥門技術的有效結合，使得高性能組合系統(tǒng)能夠在緊湊的設計中實現(xiàn)高效運行。