科賦樂(lè) MFM 屬于熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)，精度指標(biāo)以FS 滿(mǎn)量程誤差為基準(zhǔn)，出廠采用氮?dú)庠?25℃標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境完成標(biāo)定。MFM 僅負(fù)責(zé)流量檢測(cè)，不帶流量調(diào)節(jié)閥體，氣源壓力波動(dòng)不會(huì)影響儀表讀數(shù)，但是會(huì)改變管路內(nèi)部真實(shí)流量。

各系列精度參數(shù)5410 系列全金屬密封 MFM測(cè)量精度：±1.0%FS重復(fù)性：±0.2% FS溫度系數(shù)：0.1% FS/℃，適用環(huán)境 15?35℃

3760 緊湊型小流量 MFM，量程 10sccm?20SLM測(cè)量精度：±1.0%FS重復(fù)性：±0.5% FS

3765 大流量 MFM，量程 30?100SLM測(cè)量精度：±1.5%FS重復(fù)性：±0.5% FS

EX?M 數(shù)字全金屬 MFM常規(guī)檔位測(cè)量精度±1.0%FS，大流量檔位為 ±1.5% FS重復(fù)性 ±0.2?0.5% FS，支持 RS485 通訊，內(nèi)置多組氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)。

8500MM 本地?cái)?shù)顯款 MFM測(cè)量精度 ±1.0% FS，可讀取瞬時(shí)流量與累積流量，模擬、數(shù)字雙信號(hào)輸出。

關(guān)鍵性能說(shuō)明最佳測(cè)量工作區(qū)間為20%?80%FS。低于 20% 滿(mǎn)量程時(shí)，設(shè)備絕對(duì)誤差保持不變，相對(duì)誤差會(huì)明顯增大，不建議在 10% FS 以下開(kāi)展高精度計(jì)量工作。設(shè)備重復(fù)性?xún)?yōu)于整機(jī)精度，多次測(cè)量讀數(shù)一致性好，適合對(duì)比類(lèi)實(shí)驗(yàn)。MFM 本身不受壓力干擾，但無(wú)法抑制因?yàn)闅庠磯毫Σ▌?dòng)造成的管路實(shí)際流量變化。環(huán)境溫度偏離 25℃會(huì)產(chǎn)生溫度漂移，溫度系數(shù) 0.1?0.2% FS/℃。上機(jī)通電需要預(yù)熱 15?20 分鐘，定期執(zhí)行零點(diǎn)標(biāo)定，抵消零點(diǎn)漂移帶來(lái)的誤差。出廠標(biāo)定介質(zhì)為氮?dú)猓褂脷錃狻鍤狻⒀鯕獾绕渌麣怏w，必須使用對(duì)應(yīng)氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)換算，直接沿用氮?dú)庾x數(shù)會(huì)產(chǎn)生額外測(cè)量偏差。

現(xiàn)場(chǎng)影響實(shí)際測(cè)量精度的外部因素1、零點(diǎn)漂移：長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)運(yùn)行會(huì)產(chǎn)生零點(diǎn)偏移，需要定期零點(diǎn)標(biāo)定，未標(biāo)定會(huì)直接降低測(cè)量準(zhǔn)確度。2、氣源壓力變化：MFM 讀數(shù)不受壓力影響，但管路實(shí)際流量會(huì)跟隨壓力改變，如果需要管路流量穩(wěn)定，上游應(yīng)當(dāng)加裝穩(wěn)壓閥。3、介質(zhì)匹配：腐蝕性氣體必須選用全金屬密封機(jī)型，橡膠密封被介質(zhì)侵蝕后，會(huì)持續(xù)出現(xiàn)測(cè)量偏差。4、管路狀態(tài)：管路阻尼、過(guò)濾器節(jié)流、管路泄漏，會(huì)改變管路真實(shí)流量，儀表讀數(shù)依舊準(zhǔn)確，但讀數(shù)和工藝實(shí)際工況流量會(huì)出現(xiàn)不一致。

選型提示只做流量監(jiān)測(cè)、數(shù)據(jù)記錄、對(duì)比實(shí)驗(yàn)，MFM 的精度可以滿(mǎn)足使用；如果既要測(cè)量流量，又要自動(dòng)維持管路流量恒定，需要選用 MFC 質(zhì)量流量控制器。