氫氣抽速

170 - 190 l/s

190 l/s

氦氣抽速

310 - 390 l/s

390 l/s

氬氣抽速

320 - 530 l/s

530 l/s

氮氣抽速

350 - 550 l/s

550 l/s

氫氣壓縮比（ISO 5302）

2 · 102 l/s

2 · 102 l/s

氦氣壓縮比（ISO 5302）

1 · 10? l/s

1 · 10? l/s

氬氣壓縮比（ISO 5302）

8 · 10? l/s

8 · 10? l/s

氮氣壓縮比（ISO 5302）

2 · 10? l/s

2 · 10? l/s

極限壓力

< 1 · 10?? mbar

< 1 · 10?? mbar

前級真空（氦氣）

1.0 mbar

1.0 mbar

前級真空（氬氣）

3.3 mbar

3.3 mbar

前級真空（氮氣）

2.6 mbar

2.6 mbar

進氣真空（氫氣）

10 mbar

> 0.1 mbar

進氣真空（氦氣）

10 mbar

> 0.1 mbar

進氣真空（氬氣）

1.0 mbar

0.02 mbar

進氣真空（氮氣）

1.0 mbar

0.04 mbar

最終轉速下的氫氣氣體流量

> 10000 sccm

> 1000 sccm

最終轉速下的氦氣氣體流量

> 10000 sccm

> 1000 sccm

最終轉速下的氬氣氣體流量

2500 sccm

300 sccm

最終轉速下的氮氣氣體流量

4000 sccm

500 sccm

建議吹掃流量

50 sccm

50 sccm

轉速

50000 rpm

50000 rpm

可調轉速

15000 rmp 至標稱轉速

15000 rmp 至標稱轉速

從開始啟動到達到最終轉速的 90% 所需要的時間，排放壓力 < 0.1 mbar

< 2 最小

< 2 最小

調節器電源

48 VDC

48 VDC

啟動時的功耗

560 W

560 W

額定功率（待機功率）

100 W

100 W

加熱溫度

65 °C

烘烤溫度

120 °C

120 °C

推薦冷卻水流量

60 l/h

60 l/h

冷卻水溫度

15 - 25 °C

15 - 25 °C

推薦前級泵

ACP40

ACP40

聲壓級（ISO 2151）（在額定轉速下，距離設備 1 米處測量）

< 42 dB(A)

< 42 dB(A)

額定轉速下的振動水平

< 0.01 μm

< 0.01 μm

尺寸（? x H）

180 x 159.3-209.3* mm

180 x 159.3-209.3* mm

尺寸（?）

180 mm

180 mm

重量（約）

17 kg

18 kg

進氣口

DN 100/DN 160

DN 160

排氣口

DN 25 ISO-KF

DN 40 ISO-KF

N? 吹掃法蘭

1/8 G (ISO 228)

1/4 VCR

不銹鋼進氣濾網（出廠設定）

是

是

允許的磁場強度（徑向值）（在距離設備 10 厘米處）

< 12 mT

< 12 mT

機載控制器控制選項

Profibus，遠程

遠程