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二手電鏡這是一臺聚焦離子束系統，具備高分辨率成像功能。它由電子束系統(SEM)和離子束系統(FIB)組成，可以進行材料的刻蝕，沉積和TEM制樣。它可以進行實時（在刻蝕或沉積時）觀察（SEM）以及其它分析。

二手電鏡雙束系統中場發射掃描電鏡主要用于觀察、分析和記錄材料的微觀形貌，聚焦離子束用來對樣品進行在微納米尺度下的圖形沉積、切割、刻蝕、透射樣品制備及原子探針針尖加工等工作。

In SEM/FIB cross beam system, SEM is utilized in observation of surface morphologies, and FIB is used in the micro-processing including pattern deposition, slicing, milling, etching, TEM specimen preparation and probe fabrication, etc.

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