一、加野3950超小型粒子計數(shù)器雙通道0.1μm的性能與用材特性

該儀器在粒徑檢測能力上達到0.1μm級別分辨率，粒徑分辨率優(yōu)于15%（以0.3μm PSL粒子為基準），能夠有效區(qū)分相近粒徑的顆粒物。雙通道并行檢測架構允許用戶單次采樣同時獲取0.1μm和0.3μm兩個關鍵檔位的濃度數(shù)據(jù)，采樣效率較單通道設備提升一倍。計數(shù)效率方面，在最小可測粒徑附近對PSL標準粒子的計數(shù)效率為50±20%，在最小粒徑1.5至2倍區(qū)間（0.15~0.2μm）達到100±10%，偽計數(shù)低于每35分鐘1個，最大可測濃度限值為10,000,000個/ft3，上述指標均符合JIS B9921及ISO21501-4標準要求。

采樣流量系統(tǒng)采用內置泵作為氣源，額定流量0.1CFM（即2.83L/min），流量控制精度±5%。單次測量時間可在6秒至99分59秒范圍內調節(jié)，間隔時間同樣支持6秒至99分59秒自由設定，采樣次數(shù)支持1至999次或連續(xù)模式，適配從快速巡檢到長期在線監(jiān)控的多種作業(yè)節(jié)奏。測量模式內置重復、單次、連續(xù)、計算、ISO、GB共六種，其中ISO模式與GB模式分別對應國際與國內潔凈室檢測規(guī)范，便于用戶按標準流程執(zhí)行檢測任務。

儀器外殼采用高強度工程塑料與金屬框架復合結構，兼顧輕量化與結構剛性。內部光學系統(tǒng)由激光二極管、精密光束整形透鏡組及高靈敏度光電倍增管構成，關鍵光學元件經(jīng)防塵密封處理，降低潔凈室內顆粒物對內部光路的污染風險。氣流通道選用耐腐蝕金屬材料，表面經(jīng)特殊工藝處理，減少粒子在管路內壁的吸附與沉降。觸摸屏表面覆蓋防劃硬質涂層，適應潔凈室頻繁擦拭消毒的使用環(huán)境。整機無外接氣源管路，降低了安裝過程中引入額外污染源的可能性。

數(shù)據(jù)顯示方面，4.3英寸彩色液晶觸摸屏同步呈現(xiàn)累計值Σ、差分值△及柱形圖三種數(shù)據(jù)形態(tài)，顯示語言支持英語與日語切換，數(shù)據(jù)顯示延遲可在1至10秒間調節(jié)。測試地點最多可預設99個點位，方便大中型潔凈室分區(qū)管理時按區(qū)域標記數(shù)據(jù)來源。

二、加野3950超小型粒子計數(shù)器雙通道0.1μm的參數(shù)總覽與應用領域

設備完整參數(shù)如下：

產(chǎn)品名稱： 超小型粒子計數(shù)器
產(chǎn)品型號： 3950
產(chǎn)品品牌： 加野（KANOMAX）
測量原理： 光散射法
通道數(shù)量： 2
粒徑通道1： 0.1μm
粒徑通道2： 0.3μm
額定流量： 0.1CFM（2.83L/min）
流量精度： ±5%
品質標準： JIS B9921及ISO21501-4
單次測時： 6秒~99分59秒
間隔時長： 6秒~99分59秒
采樣次數(shù)： 1~999次或連續(xù)
測點數(shù)量： 99個
測量模式： 重復/單次/連續(xù)/計算/ISO/GB共6種
數(shù)據(jù)顯示延遲： 1~10秒
最大濃度限值： 10,000,000個/ft3
最小粒徑計數(shù)效率： 50±20%（PSL粒子）
倍徑計數(shù)效率： 100±10%（1.5~2倍最小粒徑PSL）
偽計數(shù)限值： <1個/35min
粒徑分辨率： 15%以下（0.3μm PSL粒子）
氣源方式： 內置泵
屏幕規(guī)格： 4.3英寸彩色液晶觸摸屏
USB-Host功能： 連接打印機及USB存儲
USB-Device功能： 與PC鏈接通訊
有線網(wǎng)絡接口： Ethernet
串行通訊接口： RS485（9600/19200/38400 baud）
最大存盤數(shù)： 10,000個
文件格式： CSV
操作語言： 英語、日語
供電電壓： AC 100~240V
工作溫度： 15~35℃
工作濕度： 0~85%RH（無結露）
設備寬度： 150mm
設備深度： 228mm
設備高度： 163mm
設備凈重： 3.4kg
配套軟件： PC端數(shù)據(jù)顯示軟件
適用場景1： 半導體制造設備嵌入
適用場景2： 潔凈室清潔度管理
適用場景3： 高清潔度區(qū)域監(jiān)控

在應用層面，該儀器主要面向三大領域。其一，半導體制造設備的內嵌式安裝，憑借150mm×228mm×163mm的緊湊尺寸與3.4kg的輕量化設計，可部署于光刻機、刻蝕機、涂布顯影設備等精密機臺內部，實現(xiàn)短路徑原位采樣，避免長采樣管路帶來的粒子沉降損失，提升監(jiān)測實時性與數(shù)據(jù)代表性。其二，潔凈室日常清潔度管理，六種測量模式與99點預設功能支撐了ISO 1級至6級潔凈室的分區(qū)巡檢、定期認證及異常排查等常規(guī)工作。其三，高清潔度區(qū)域的定點監(jiān)控，內置泵與寬電壓電源設計使其可長期固定安裝于藥品灌裝線、航天光學組件裝配區(qū)、硬盤磁頭制造車間等對顆粒污染極為敏感的場所，通過Ethernet或RS485接口將實時濃度數(shù)據(jù)上傳至工廠環(huán)境監(jiān)控中臺，實現(xiàn)連續(xù)在線監(jiān)測與超標報警聯(lián)動。CSV格式的數(shù)據(jù)存儲與附贈PC軟件的配合使用，進一步降低了數(shù)據(jù)整理與趨勢分析的難度。