一、加野3950高精度粒子計(jì)數(shù)器觸屏RS485的測(cè)量性能與部件材質(zhì)
該儀器在粒徑檢測(cè)層面達(dá)到0.1μm級(jí)別分辨能力,粒徑分辨率優(yōu)于15%(以0.3μm標(biāo)準(zhǔn)PSL粒子為標(biāo)定基準(zhǔn)),能夠?qū)單⒚壮叨阮w粒進(jìn)行有效分類與計(jì)數(shù)。雙粒徑通道采用并行獨(dú)立檢測(cè)架構(gòu),單次采樣同時(shí)輸出0.1μm與0.3μm兩個(gè)檔位的濃度數(shù)據(jù),較單通道設(shè)備無(wú)需重復(fù)采樣即可獲取雙粒徑信息。計(jì)數(shù)效率指標(biāo)方面,在最小可測(cè)粒徑0.1μm附近對(duì)PSL粒子的計(jì)數(shù)效率為50±20%,在最小粒徑1.5倍至2倍區(qū)間(0.15~0.2μm)達(dá)到100±10%,偽計(jì)數(shù)水平低于每35分鐘1個(gè),最大可測(cè)濃度限值為10,000,000個(gè)/ft3。以上指標(biāo)均符合JIS B9921及ISO21501-4標(biāo)準(zhǔn)的技術(shù)規(guī)范要求。
采樣流量系統(tǒng)以內(nèi)置隔膜泵為氣源,額定流量2.83L/min(即0.1CFM),流量控制精度±5%。單次測(cè)量時(shí)間可在6秒至99分59秒范圍內(nèi)連續(xù)調(diào)節(jié),間隔時(shí)間同樣支持6秒至99分59秒的自由設(shè)定,采樣次數(shù)可配置為1至999次任意整數(shù)或切換至連續(xù)循環(huán)模式,適配從快速巡檢到長(zhǎng)期連續(xù)監(jiān)測(cè)的多種作業(yè)節(jié)奏。設(shè)備內(nèi)置六種測(cè)量模式:重復(fù)、單次、連續(xù)、計(jì)算、ISO、GB,其中ISO模式與GB模式分別依據(jù)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化組織及中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的相關(guān)檢測(cè)流程設(shè)計(jì),便于用戶直接按規(guī)范執(zhí)行潔凈室認(rèn)證與周期性檢測(cè)任務(wù)。
儀器殼體采用工程塑料與內(nèi)部金屬骨架復(fù)合結(jié)構(gòu),兼顧整機(jī)剛性(凈重3.4kg)與尺寸緊湊性(150mm×163mm×228mm)。內(nèi)部光學(xué)引擎由激光二極管、光束整形透鏡組及高靈敏度光電探測(cè)器構(gòu)成,關(guān)鍵光路部件經(jīng)防塵密封處理,降低潔凈室環(huán)境中懸浮顆粒對(duì)光學(xué)系統(tǒng)的長(zhǎng)期污染風(fēng)險(xiǎn)。采樣氣流通道選用耐腐蝕金屬材料,內(nèi)壁經(jīng)低吸附表面處理工藝,減少粒子在傳輸路徑中的管壁沉降與吸附損失。觸摸屏面板覆蓋防劃硬質(zhì)涂層,耐受潔凈室日常消毒擦拭操作。整機(jī)無(wú)需外接壓縮空氣或真空管路,單機(jī)獨(dú)立工作,降低了安裝過(guò)程中引入外部污染源的概率。
數(shù)據(jù)顯示界面為4.3英寸彩色液晶觸摸屏,同步呈現(xiàn)累計(jì)值Σ、差分值△及柱形圖三種數(shù)據(jù)形態(tài),數(shù)據(jù)顯示延遲可在1至10秒間調(diào)節(jié)。操作語(yǔ)言內(nèi)置英語(yǔ)與日語(yǔ)兩個(gè)選項(xiàng)。設(shè)備支持最多99個(gè)測(cè)試地點(diǎn)的預(yù)設(shè)與編號(hào)標(biāo)記,便于多點(diǎn)位輪巡測(cè)量時(shí)數(shù)據(jù)按區(qū)域分類管理。
RS485串行通訊接口支持9600、19200、38400三種波特率設(shè)置,可穩(wěn)定接入工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)總線網(wǎng)絡(luò),實(shí)現(xiàn)與PLC、數(shù)據(jù)采集器、工控機(jī)等自動(dòng)化設(shè)備的數(shù)據(jù)交互。Ethernet網(wǎng)口支持接入工廠局域網(wǎng),便于遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)訪問(wèn)與多機(jī)組網(wǎng)監(jiān)控。USB Host接口支持打印機(jī)直出報(bào)告及U盤數(shù)據(jù)備份,USB Device接口支持與PC聯(lián)機(jī)通訊。
二、加野3950高精度粒子計(jì)數(shù)器觸屏RS485的完整參數(shù)與應(yīng)用方向
產(chǎn)品完整參數(shù)如下:
產(chǎn)品名稱: 超小型粒子計(jì)數(shù)器
產(chǎn)品型號(hào): 3950
產(chǎn)品品牌: 加野(KANOMAX)
測(cè)量原理: 光散射法
通道數(shù)量: 2
粒徑通道1: 0.1μm
粒徑通道2: 0.3μm
額定流量: 0.1CFM(2.83L/min)
流量精度: ±5%
品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn): JIS B9921及ISO21501-4
單次測(cè)時(shí): 6秒~99分59秒
間隔時(shí)長(zhǎng): 6秒~99分59秒
采樣次數(shù): 1~999次或連續(xù)
測(cè)點(diǎn)數(shù)量: 99個(gè)
測(cè)量模式: 重復(fù)/單次/連續(xù)/計(jì)算/ISO/GB共6種
數(shù)據(jù)顯示延遲: 1~10秒
最大濃度限值: 10,000,000個(gè)/ft3
最小粒徑計(jì)數(shù)效率: 50±20%(PSL粒子)
倍徑計(jì)數(shù)效率: 100±10%(1.5~2倍最小粒徑PSL)
偽計(jì)數(shù)限值: <1個(gè)/35min
粒徑分辨率: 15%以下(0.3μm PSL粒子)
氣源方式: 內(nèi)置泵
屏幕規(guī)格: 4.3英寸彩色液晶觸摸屏
USB-Host功能: 連接打印機(jī)及USB存儲(chǔ)
USB-Device功能: 與PC鏈接通訊
有線網(wǎng)絡(luò)接口: Ethernet
串行通訊接口: RS485(9600/19200/38400 baud)
最大存盤數(shù): 10,000個(gè)
文件格式: CSV
操作語(yǔ)言: 英語(yǔ)、日語(yǔ)
供電電壓: AC 100~240V
工作溫度: 15~35℃
工作濕度: 0~85%RH(無(wú)結(jié)露)
設(shè)備寬度: 150mm
設(shè)備深度: 228mm
設(shè)備高度: 163mm
設(shè)備凈重: 3.4kg
配套軟件: PC端數(shù)據(jù)顯示軟件
適用場(chǎng)景1: 半導(dǎo)體制造設(shè)備嵌入
適用場(chǎng)景2: 潔凈室清潔度管理
適用場(chǎng)景3: 高清潔度區(qū)域監(jiān)控
該儀器在應(yīng)用層面主要面向三類場(chǎng)景。第一類為潔凈室日常清潔度管理與分級(jí)認(rèn)證,六種測(cè)量模式配合99點(diǎn)預(yù)設(shè)功能,覆蓋ISO 1級(jí)至6級(jí)潔凈室的周期性巡檢、年度認(rèn)證及異常點(diǎn)位排查等工作流程,通過(guò)觸屏直接操作完成多點(diǎn)位數(shù)據(jù)采集,無(wú)需額外編程或復(fù)雜設(shè)置。第二類為半導(dǎo)體制造設(shè)備的內(nèi)嵌式配套,以150mm×228mm×163mm的外形尺寸與3.4kg的重量規(guī)格,可部署于光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、涂布顯影設(shè)備及離子注入機(jī)等精密機(jī)臺(tái)內(nèi)部或側(cè)方輔助空間,實(shí)現(xiàn)短路徑原位采樣,有效縮短采樣管路長(zhǎng)度,降低顆粒在傳輸過(guò)程中的沉降與吸附損耗,確保測(cè)量數(shù)據(jù)真實(shí)反映設(shè)備內(nèi)部工藝微環(huán)境的顆粒濃度水平。第三類為高清潔度區(qū)域的固定式在線監(jiān)控,通過(guò)RS485接口或Ethernet網(wǎng)口將實(shí)時(shí)濃度數(shù)據(jù)上傳至工廠環(huán)境監(jiān)控中臺(tái)或MES系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)連續(xù)數(shù)據(jù)采集與濃度趨勢(shì)追蹤,配合CSV格式數(shù)據(jù)存儲(chǔ)與附贈(zèng)PC端軟件,用戶可完成歷史數(shù)據(jù)歸檔、統(tǒng)計(jì)計(jì)算及合規(guī)檢測(cè)報(bào)告的輸出編制。USB接口同時(shí)提供了現(xiàn)場(chǎng)數(shù)據(jù)備份與紙質(zhì)報(bào)告直出的便捷通道,提升了日常運(yùn)維效率。





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