一、加野3950粒子計數器0.1微米2.83Lmin的檢測性能與結構材質
該儀器在粒徑分辨能力上達到0.1μm級別,粒徑分辨率優于15%(以0.3μm標準PSL粒子為測試基準),能夠對亞微米級顆粒物進行有效分類與計數。雙通道同步檢測架構允許單次采樣同時獲取0.1μm與0.3μm兩個檔位的濃度數據,避免了單通道設備需兩次采樣的時間損耗。計數效率指標方面,在最小可測粒徑附近對PSL粒子的計數效率為50±20%,在最小粒徑1.5倍至2倍區間(即0.15~0.2μm范圍)達到100±10%,偽計數水平低于每35分鐘1個,最大可測濃度限值為10,000,000個/ft3。以上性能指標均經JIS B9921及ISO21501-4標準驗證。
采樣流量系統以2.83L/min(即0.1CFM)為額定流量,流量控制精度±5%。單次測量時間可在6秒至99分59秒之間連續調節,間隔時間同樣支持6秒至99分59秒的自由設定,采樣次數可設為1至999次任意整數或切換至連續循環模式,適應從快速抽檢到長期連續監測的多種作業需求。設備內置六種測量模式:重復、單次、連續、計算、ISO、GB,其中ISO模式與GB模式分別依據國際標準化組織及中國國家標準的相關檢測流程設計,便于用戶直接按照規范執行潔凈室認證與年檢任務。
儀器殼體采用工程塑料與金屬骨架復合結構,在保障整機剛性的同時將凈重控制在3.4kg。內部光學系統由激光二極管、光束整形透鏡組及光電探測器構成,關鍵光路部件經防塵密封處理。氣流通道選用耐腐蝕金屬材料,內壁經低吸附表面處理工藝,降低粒子在采樣路徑中的沉降損耗。觸摸屏表面覆有防劃涂層,耐受潔凈室日常清潔擦拭。整機無需外接壓縮空氣或真空管路,降低了安裝過程中引入外部污染的風險。
數據顯示界面為4.3英寸彩色液晶觸摸屏,同步呈現累計值Σ、差分值△及柱形圖三種數據形態,數據顯示延遲可在1至10秒間調節。操作語言內置英語與日語選項。設備支持最多99個測試地點的預設與標記,便于多區域測量時數據歸屬管理。
二、加野3950粒子計數器0.1微米2.83Lmin的參數匯總與適用場景
產品完整參數如下:
產品名稱: 超小型粒子計數器
產品型號: 3950
產品品牌: 加野(KANOMAX)
測量原理: 光散射法
通道數量: 2
粒徑通道1: 0.1μm
粒徑通道2: 0.3μm
額定流量: 0.1CFM(2.83L/min)
流量精度: ±5%
品質標準: JIS B9921及ISO21501-4
單次測時: 6秒~99分59秒
間隔時長: 6秒~99分59秒
采樣次數: 1~999次或連續
測點數量: 99個
測量模式: 重復/單次/連續/計算/ISO/GB共6種
數據顯示延遲: 1~10秒
最大濃度限值: 10,000,000個/ft3
最小粒徑計數效率: 50±20%(PSL粒子)
倍徑計數效率: 100±10%(1.5~2倍最小粒徑PSL)
偽計數限值: <1個/35min
粒徑分辨率: 15%以下(0.3μm PSL粒子)
氣源方式: 內置泵
屏幕規格: 4.3英寸彩色液晶觸摸屏
USB-Host功能: 連接打印機及USB存儲
USB-Device功能: 與PC鏈接通訊
有線網絡接口: Ethernet
串行通訊接口: RS485(9600/19200/38400 baud)
最大存盤數: 10,000個
文件格式: CSV
操作語言: 英語、日語
供電電壓: AC 100~240V
工作溫度: 15~35℃
工作濕度: 0~85%RH(無結露)
設備寬度: 150mm
設備深度: 228mm
設備高度: 163mm
設備凈重: 3.4kg
配套軟件: PC端數據顯示軟件
適用場景1: 半導體制造設備嵌入
適用場景2: 潔凈室清潔度管理
適用場景3: 高清潔度區域監控
該儀器主要面向三類應用場景。在半導體制造領域,其150mm×228mm×163mm的緊湊外形與3.4kg輕量化設計,使設備能夠嵌入光刻機、刻蝕機、涂布顯影機等精密裝備的內部或側方空間,實現短路徑原位采樣,有效縮短采樣管路長度,降低顆粒在傳輸過程中的沉降損失,提升監測數據的時效性與真實反映能力。在潔凈室日常管理中,六種測量模式配合99點預設功能,支撐了ISO 1級至6級潔凈室的分區巡檢、定級認證及異常排查等常規工作。對于藥品無菌灌裝線、航天光學元件裝配區、硬盤磁頭制造車間等高清潔度場所,設備可通過Ethernet網口或RS485串口將實時測量數據上傳至工廠環境監控系統,實現連續在線監測與濃度超標預警聯動。CSV格式的數據記錄配合附贈PC端軟件,便于用戶完成數據整理、趨勢分析及合規報告編制。





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