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一、加野3950超微型粒子計數器0.1μm內置泵的檢測精度與結構材料

該儀器在粒徑分辨層面達到0.1μm級別，粒徑分辨率優于15%（以0.3μm標準PSL粒子為標定基準），能夠對亞微米尺度顆粒進行有效分類與計數。雙粒徑通道采用并行獨立檢測架構，單次采樣同時完成0.1μm與0.3μm兩個檔位的濃度輸出，相較單通道設備無需重復采樣即可獲取雙粒徑數據。計數效率指標方面，在最小可測粒徑0.1μm附近對PSL粒子的計數效率為50±20%，在最小粒徑1.5倍至2倍區間（0.15~0.2μm）達到100±10%，偽計數低于每35分鐘1個，最大可測濃度限值為10,000,000個/ft3。以上性能指標均符合JIS B9921及ISO21501-4標準的技術規范。

內置泵系統是該設備的核心供氣組件，采用高性能隔膜泵結構，免除了外接壓縮空氣或真空管路的需求，單機即可獨立完成采樣工作。額定流量2.83L/min（即0.1CFM），流量控制精度±5%。泵體經減振隔音處理，運行噪聲控制在較低水平，適合在潔凈室安靜環境中長時間工作。采樣氣流通道選用耐腐蝕金屬材料，內壁經低吸附表面處理工藝，減少粒子在傳輸路徑中的管壁沉降與吸附損失。

單次測量時間可在6秒至99分59秒范圍內連續調節，間隔時間同樣支持6秒至99分59秒的自由設定，采樣次數可配置為1至999次任意整數或切換至連續循環模式，適配從快速巡檢到長期連續監測的多種作業節奏。設備內置六種測量模式：重復、單次、連續、計算、ISO、GB，其中ISO模式與GB模式分別依據國際標準化組織及中國國家標準的相關檢測流程設計，便于用戶按規范執行潔凈室認證與年度檢測任務。

儀器殼體采用工程塑料與內部金屬骨架復合結構，兼顧整機剛性（凈重3.4kg）與尺寸緊湊性（150mm×163mm×228mm）。內部光學引擎由激光二極管、光束整形透鏡組及高靈敏度光電探測器構成，關鍵光路部件經防塵密封處理，降低潔凈室環境中懸浮顆粒對光學系統的長期污染風險。觸摸屏面板覆蓋防劃硬質涂層，耐受潔凈室日常消毒擦拭操作。

數據顯示界面為4.3英寸彩色液晶觸摸屏，同步呈現累計值Σ、差分值△及柱形圖三種數據形態，數據顯示延遲可在1至10秒間調節。操作語言內置英語與日語兩個選項。設備支持最多99個測試地點的預設與編號標記，便于多點位輪巡測量時數據按區域分類管理。

通訊接口配置方面，RS485串行通訊接口支持9600、19200、38400三種波特率設置，可接入工業現場總線網絡實現與PLC等自動化設備的數據交互。Ethernet網口支持接入工廠局域網，便于遠程數據訪問與多機組網監控。USB Host接口支持打印機直出報告及U盤數據備份，USB Device接口支持與PC聯機通訊。

二、加野3950超微型粒子計數器0.1μm內置泵的完整參數與應用領域

產品完整參數如下：

產品名稱： 超小型粒子計數器
產品型號： 3950
產品品牌： 加野（KANOMAX）
測量原理： 光散射法
通道數量： 2
粒徑通道1： 0.1μm
粒徑通道2： 0.3μm
額定流量： 0.1CFM（2.83L/min）
流量精度： ±5%
品質標準： JIS B9921及ISO21501-4
單次測時： 6秒~99分59秒
間隔時長： 6秒~99分59秒
采樣次數： 1~999次或連續
測點數量： 99個
測量模式： 重復/單次/連續/計算/ISO/GB共6種
數據顯示延遲： 1~10秒
最大濃度限值： 10,000,000個/ft3
最小粒徑計數效率： 50±20%（PSL粒子）
倍徑計數效率： 100±10%（1.5~2倍最小粒徑PSL）
偽計數限值： <1個/35min
粒徑分辨率： 15%以下（0.3μm PSL粒子）
氣源方式： 內置泵
屏幕規格： 4.3英寸彩色液晶觸摸屏
USB-Host功能： 連接打印機及USB存儲
USB-Device功能： 與PC鏈接通訊
有線網絡接口： Ethernet
串行通訊接口： RS485（9600/19200/38400 baud）
最大存盤數： 10,000個
文件格式： CSV
操作語言： 英語、日語
供電電壓： AC 100~240V
工作溫度： 15~35℃
工作濕度： 0~85%RH（無結露）
設備寬度： 150mm
設備深度： 228mm
設備高度： 163mm
設備凈重： 3.4kg
配套軟件： PC端數據顯示軟件
適用場景1： 半導體制造設備嵌入
適用場景2： 潔凈室清潔度管理
適用場景3： 高清潔度區域監控

該儀器在應用層面主要面向三類場景。第一類為半導體制造設備的內嵌安裝，以150mm×228mm×163mm的外形尺寸與3.4kg的重量規格，可部署于光刻機、刻蝕機、涂布顯影設備及離子注入機等精密機臺的內部預留空間或側方輔助區域。內置泵設計使設備無需外接氣源管路即可獨立工作，大幅簡化了機臺內部的安裝布線，同時實現了短路徑原位采樣，有效縮短采樣管路長度，降低顆粒在傳輸過程中的沉降與吸附損耗，確保測量結果真實反映設備內部工藝環境的顆粒濃度水平。第二類為潔凈室清潔度分級管理與日常巡檢，六種測量模式配合99點預設功能，支撐ISO 1級至6級潔凈室的周期性檢測、異常點位排查及年度認證工作。第三類為高清潔度區域的固定式在線監控，設備通過Ethernet網口或RS485串口將實時濃度數據上傳至工廠環境監控中臺或MES系統，實現連續數據采集與濃度趨勢追蹤。CSV格式的10,000條數據存儲配合附贈PC端軟件，便于用戶完成歷史數據歸檔、統計計算及合規檢測報告的輸出編制。USB接口同時提供了現場數據備份與紙質報告直出的便捷通道，提升了日常運維效率。