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日本進口小坂研究所非接觸檢測器 PU-OS501W
日本進口小坂研究所非接觸檢測器 PU-OS501W

【非接觸測量，不損傷樣品】
PU-OS501W采用激光非接觸測量方式，檢測器與樣品之間無物理接觸。這一設計消除了觸針式測量對柔軟材料（如薄膜、橡膠、膠帶等）表面產生劃痕或壓痕的風險，也避免了硬質材料表面的觸針磨損問題。對于半導體晶圓、光學鏡片等不允許接觸的高價值樣品，非接觸測量是理想的解決方案。

【高速測量，無機械滯后】
該檢測器通過檢測激光焦點位置的偏移量來測量表面高度變化，內部無機械式形狀追従機構（即無移動部件）。這一設計消除了機械慣性帶來的測量滯后，實現了高速測量，大幅縮短了掃描時間，提升了批量檢測效率。

【三種測量模式，靈活切換】
PU-OS501W支持三種測量模式的切換：

• 精密模式：量程12μm，分辨率0.2nm，適合超高精度微小段差測量

• 寬量程模式：量程30μm，分辨率0.5nm，適合一般高精度測量

• AF模式：量程30~500μm，分辨率0.5nm，適合較大段差和形狀測量

用戶可根據測量需求靈活切換模式，在精度和量程之間取得最佳平衡。

【激光功率20檔可調，低反射率也可測量】
激光功率可在20個級別中調節，即使是低反射率的工件（如黑色橡膠、碳纖維等）也可獲得穩定的測量信號。這一特性大幅擴展了可測材料的范圍。

【自動對焦，操作便捷】
搭載Auto-Stop自動對焦功能，檢測器可自動移動至焦點位置，無需手動調焦操作。降低了操作門檻，減少了因對焦不準導致的測量誤差。

【緊湊光學設計，內徑測量成為可能】
通過緊湊的光學配置，傳統非接觸檢測器難以實現的管道內徑表面性狀測量，PU-OS501W亦可輕松應對。

技術規格參數表

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