日本進口小坂研究所微細形狀測定機 ET200A
日本進口小坂研究所微細形狀測定機 ET200A

【直動式檢測器，微小測量力對應】
ET200A搭載直動式檢測器，測量力10μN~500μN（1mg~50mgf），即使是軟質樣品表面也能實現高精度測量，不損傷樣品。

【高精度·高再現性】
再現性1σ 0.3nm以內，測量范圍600μm，分辨率0.1nm。X軸驅動距離100mm，真直度精度0.2μm/100mm以下，滿足臺階、膜厚及微細形狀的高精度評價需求。

【FPD基板·晶圓對應】
最大樣品尺寸φ160×厚度52mm，適合FPD基板、半導體晶圓、有機EL等領域的微細形狀、臺階和粗糙度測量。

技術規格參數表

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