日本進(jìn)口小坂研究所微細(xì)形狀測定機(jī) ET200A-D
日本進(jìn)口小坂研究所微細(xì)形狀測定機(jī) ET200A-D

【電動Y軸單元搭載】
ET200A-D在ET200A基礎(chǔ)上搭載電動Y軸單元（ETD-200），實現(xiàn)Y軸方向自動驅(qū)動，提升測量效率和定位精度，適合需要多點測量的批量檢測場景。

【直動式檢測器，微小測量力對應(yīng)】
搭載直動式檢測器，測量力10μN(yùn)~500μN(yùn)（1mg~50mgf），軟質(zhì)樣品也可實現(xiàn)高精度測量。

【高精度·高再現(xiàn)性】
再現(xiàn)性1σ 0.3nm以內(nèi)，測量范圍600μm，分辨率0.1nm。X軸驅(qū)動距離100mm，真直度精度0.2μm/100mm以下。

技術(shù)規(guī)格參數(shù)表

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