日本進口小坂研究所微細形狀測定機 ET4000AK
日本進口小坂研究所微細形狀測定機 ET4000AK

【大型樣品對應】
ET4000AK最大樣品尺寸530×390mm，樣品臺尺寸540×400mm，Y軸行程400mm，可對應大型FPD基板、大尺寸晶圓等工件的測量需求。

【θ軸旋轉(zhuǎn)功能搭載】
配備電動/手動θ軸，旋轉(zhuǎn)角度360°，支持樣品任意角度的定位和測量，提升測量靈活性。

【高精度·高再現(xiàn)性】
再現(xiàn)性1σ 0.5nm以內(nèi)，測量范圍100μm，Z軸最高分辨率0.1nm，真直度0.1μm/100mm。

【直動式檢測器，微小測量力對應】
搭載直動式檢測器，最小測定力0.5μN（0.05mgf），軟質(zhì)樣品也可實現(xiàn)高精度測量。

技術規(guī)格參數(shù)表

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