日本進口小坂研究所接觸式臺階儀 NT1520
日本進口小坂研究所接觸式臺階儀 NT1520

【直動方式檢測器】
NT1520采用小坂研究所世界獨自的直動方式檢測器。與傳統(tǒng)杠桿式檢測器不同，直動方式?jīng)]有支點結(jié)構(gòu)，從根本上消除了因支點間隙而產(chǎn)生的測量誤差，實現(xiàn)了更高的測量精度和再現(xiàn)性。再現(xiàn)性1σ 0.3nm以內(nèi)，在臺階測量領(lǐng)域具有較高的精度水平。

【X、Y方向雙軸測量】
支持X、Y方向雙軸測量，無需重新放置工件即可完成多方向掃描。指定區(qū)域可進行批量自動測量，大幅縮短測量時間，減輕作業(yè)負擔。

【1300μm寬量程檢測器】
搭載新開發(fā)的寬量程檢測器，最大測量范圍1300μm，可覆蓋從納米級薄膜到微米級厚膜的廣泛臺階測量需求。分解能Z軸0.1nm、X軸0.01μm、Y軸0.1μm。

【晶圓尺寸對應(yīng)】
最大樣品尺寸Φ220×厚度10mm，對應(yīng)4英寸、6英寸、8英寸晶圓。測量力30μN～600μN（可選配0.5μN），可根據(jù)樣品材質(zhì)和測量要求靈活調(diào)整。

技術(shù)規(guī)格參數(shù)表

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