ThermoChuck200 高低溫度卡盤

系統：

·-65℃到+200℃擴展溫度范圍，低噪聲，直流控制系統。

·在前面板上可設置多達5個溫度和斜坡/浸泡/循環熱循環裝置。

· LAN ,   RS232;  可選：GPIB.

·無需液氮或任何其它消耗性制冷劑.

·高效的冷卻系統，用于可靠、低溫測試混合動力車和其他高功率設備. 

ThermoChuck200 高低溫度卡盤

·溫度控制真空卡盤可容納300毫米的晶圓.

· 高精度，控溫性好，穩定性均勻.

·可提供標準、高隔離性和防護配置.

·優良的卡盤設計提供了低雜散電容和高接地電阻，直流電源能使電噪聲最小化

· 可與手動或自動探測站、激光切割器或檢查站進行接口。

隨著時間的推移，卡盤直徑越大，最終的低溫可能會發生一些退化。對于直徑200mm 的高低溫度卡盤，極限低溫可降 低5℃。冷卻液管線的集成、路線和長度都會影響低溫效果

2極限低溫取決于所使用的冷卻的類型和方式。通空氣在+25℃時，低溫=+20℃;通水在+25℃,低溫度=+5℃。