中冷低溫ThermoChuck200卡盤

系統(tǒng)：

·-65℃到+200℃擴(kuò)展溫度范圍，低噪聲，直流控制系統(tǒng)。

·在前面板上可設(shè)置多達(dá)5個(gè)溫度和斜坡/浸泡/循環(huán)熱循環(huán)裝置。

· LAN ,   RS232;  可選：GPIB.

·無需液氮或任何其它消耗性制冷劑.

·高效的冷卻系統(tǒng)，用于可靠、低溫測(cè)試混合動(dòng)力車和其他高功率設(shè)備.

中冷低溫ThermoChuck200卡盤

·溫度控制真空卡盤可容納300毫米的晶圓.

· 高精度，控溫性好，穩(wěn)定性均勻.

·可提供標(biāo)準(zhǔn)、高隔離性和防護(hù)配置.

·優(yōu)良的卡盤設(shè)計(jì)提供了低雜散電容和高接地電阻，直流電源能使電噪聲最小化

· 可與手動(dòng)或自動(dòng)探測(cè)站、激光切割器或檢查站進(jìn)行接口。

隨著時(shí)間的推移，卡盤直徑越大，最終的低溫可能會(huì)發(fā)生一些退化。對(duì)于直徑200mm 的高低溫度卡盤，極限低溫可降 低5℃。冷卻液管線的集成、路線和長度都會(huì)影響低溫效果

2極限低溫取決于所使用的冷卻的類型和方式。通空氣在+25℃時(shí)，低溫=+20℃;通水在+25℃,低溫度=+5℃。