目錄:玉崎半導體(深圳)有限公司>>熱賣 日本進口EBARA荏原>>磁懸浮分子泵>> EMT-3300MKEBARA荏原EMT3300MK五軸磁懸浮渦輪分子泵
| 供貨周期 | 兩周 | 應用領域 | 化工,能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣 |
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EBARA荏原EMT3300MK五軸磁懸浮渦輪分子泵
EBARA荏原EMT3300MK五軸磁懸浮渦輪分子泵
5 軸磁懸浮軸承：轉子無接觸懸浮，無油、無磨損、無粉塵，壽命20 年 +，免維護。
超潔凈真空：全無油設計，無碳氫污染，適配 EUV、外延、原子層沉積 (ALD) 等**潔凈場景。
超低振動 / 噪音：磁懸浮驅動，振動 **<0.1μm**，噪音 **<50dB**，適配 SEM/TEM、XPS、精密量測。
寬抽速范圍：340–4,200 L/s（氮氣），覆蓋從小型腔體到大型制程腔。
高耐腐 + 高溫可選：特殊涂層適配Cl?、HF等腐蝕氣體；高溫版防副產物沉積。
智能集成 + 合規：控制器一體 / 分體可選；SEMI?S2/CE/NRTL認證，支持網絡監控。
| 型號 | 抽速 (L/s) | 極限壓力 (Pa) | 進氣法蘭 | 冷卻方式 | 重量 (kg) |
|---|---|---|---|---|---|
| EMT397M | 340 | <1×10?? | ISO?F100 | 風冷 / 水冷 | 37 |
| EMT427M | 400 | <1×10?? | ISO?F100 | 風冷 / 水冷 | 37 |
| EMT907M | 900 | <1×10?? | ISO?F160/CF160 | 風冷 / 水冷 | 54 |
| EMT1307M | 1,300 | <1×10?? | ISO?F200/CF200 | 水冷 | 85 |
| EMT2400M | 2,400 | <1×10?? | ISO?F250/CF250 | 水冷 | 120 |
| EMT4200MK | 4,200 | <1×10?? | ISO?F320 | 水冷 | 180 |
EUV 光刻：超高真空、超低振動，保障曝光精度。
外延 (EPI)/MO?CVD：超潔凈、無油，適配 GaN/InP 等外延制程。
精密量測：SEM/TEM、XPS、CD 量測，超低振動保障成像 / 量測精度。
優良封裝：WLP、TSV、鍵合，超高真空 + 潔凈環境。
超高真空 (UHV) 制程：原子層沉積 (ALD)、分子束外延 (MBE)。
EMT 系列（磁懸浮渦輪分子泵）：超高真空、超潔凈、超低振動、長壽命；適合 EUV、EPI、精密量測、優良封裝；無油、磁懸浮軸承、渦輪結構。
EV 系列（羅茨干泵）：中真空、節能、緊湊、全制程；適合 Load?lock、PVD、CVD、刻蝕；有油潤滑軸承、羅茨結構。
ESA 系列（羅茨干泵）：中真空、輕氣體 (H?) 高效、MO?CVD 專用；適合 EPI、MO?CVD、大腔室；有油潤滑軸承、羅茨結構。
EST 系列（螺桿干泵）：中真空、高溫防堵、強腐蝕；適合 CVD、ALD、副產物多制程；有油潤滑軸承、螺桿結構。
超高真空 / 超潔凈 / 超低振動：選EMT（EUV、EPI、精密量測）。
中真空 / 節能 / 全制程：選EV（Load?lock、PVD、CVD）。
氫氣為主 / MO?CVD：選ESA（EPI、MO?CVD）。
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