目錄:玉崎半導體(深圳)有限公司>>熱賣 日本進口EBARA荏原>>磁懸浮分子泵>> EBT-220FEBARA荏原EBT220F軸承型復合渦輪分子泵
| 供貨周期 | 兩周 | 應用領域 | 化工,能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣 |
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EBARA荏原EBT220F軸承型復合渦輪分子泵
EBARA荏原EBT220F軸承型復合渦輪分子泵
軸承系統：高精度陶瓷滾珠軸承，壽命＞30,000 小時，維護成本低。
復合轉子：抗沖擊設計，耐受突發氣流 / 真空破壞，可靠性高。
低振動：振動≤0.2μm，適配超高真空（UHV）與精密測量場景。
安裝靈活：可任意角度安裝，適配移動真空車、集成設備。
冷卻可選：風冷（風扇）或水冷，適配不同散熱需求。
法蘭規格：ISO?K/ISO?F/CF（Conflat）多種接口，兼容性強。
| 型號 | 抽速 (N?, L/s) | 入口法蘭 | 額定轉速 (min?1) | 重量 (kg) |
|---|---|---|---|---|
| EBT70F | 75 | ISO?K63/CF63 | 90,000 | 3–5 |
| EBT220F | 220 | ISO?K100/CF100 | 48,000 | 5.5–8 |
| EBT240F | 240 | ISO?K100/CF100 | 48,000 | 7.3–10.5 |
| EBT350F | 330 | ISO?K100/CF100 | 45,000 | 6–9 |
| EBT450F | 450 | ISO?F160/CF160 | 33,600 | 7–10 |
| EBT800F | 820 | ISO?F160/CF160 | 33,600 | 26–27 |
| EBT1100F | 1,100 | ISO?F200/CF200 | 33,600 | 27–28 |
| EBT1400F | 1,400 | ISO?F200/CF200 | 31,200 | 29–30 |
| EBT2400F | 2,400 | ISO?F250 | 31,200 | 45 |
半導體 / 光伏：鍍膜、刻蝕、離子注入配套高真空系統。
分析儀器：SEM、XPS、RGA、質譜儀等超高真空環境。
科研 / 研發：UHV 系統、真空腔體、移動真空車。
光學 / 薄膜：玻璃鍍膜、LED/OLED 制程。
EBT（滾珠軸承）：機械陶瓷軸承，性價比高，維護簡單，適合常規高真空與移動場景。
EMT（磁懸浮）：5 軸磁懸浮，無接觸、無磨損、超低振動，適合半導體嚴苛制程與 UHV 長期運行。
抽速匹配：按腔體體積、抽氣時間與前級泵配置選擇型號。
真空度需求：EBT 可實現10?? P級 UHV，滿足多數高精尖場景。
冷卻方式：緊湊型 / 移動設備選風冷；高負載 / 連續運行選水冷。
法蘭接口：ISO?K 用于常規真空，CF 用于超高真空密封
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