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更新時(shí)間：2026-06-01 12:07:41瀏覽次數(shù)：40評(píng)價(jià)
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| 供貨周期 | 兩周 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子/電池,航空航天,電氣 |
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EBARA荏原EBT70F陶瓷滾珠軸承型渦輪分子泵
EBARA荏原EBT70F陶瓷滾珠軸承型渦輪分子泵
軸承系統(tǒng)：高精度陶瓷滾珠軸承，壽命＞30,000 小時(shí)，維護(hù)成本低。
復(fù)合轉(zhuǎn)子：抗沖擊設(shè)計(jì)，耐受突發(fā)氣流 / 真空破壞，可靠性高。
低振動(dòng)：振動(dòng)≤0.2μm，適配超高真空（UHV）與精密測(cè)量場(chǎng)景。
安裝靈活：可任意角度安裝，適配移動(dòng)真空車、集成設(shè)備。
冷卻可選：風(fēng)冷（風(fēng)扇）或水冷，適配不同散熱需求。
法蘭規(guī)格：ISO?K/ISO?F/CF（Conflat）多種接口，兼容性強(qiáng)。
| 型號(hào) | 抽速 (N?, L/s) | 入口法蘭 | 額定轉(zhuǎn)速 (min?1) | 重量 (kg) |
|---|---|---|---|---|
| EBT70F | 75 | ISO?K63/CF63 | 90,000 | 3–5 |
| EBT220F | 220 | ISO?K100/CF100 | 48,000 | 5.5–8 |
| EBT240F | 240 | ISO?K100/CF100 | 48,000 | 7.3–10.5 |
| EBT350F | 330 | ISO?K100/CF100 | 45,000 | 6–9 |
| EBT450F | 450 | ISO?F160/CF160 | 33,600 | 7–10 |
| EBT800F | 820 | ISO?F160/CF160 | 33,600 | 26–27 |
| EBT1100F | 1,100 | ISO?F200/CF200 | 33,600 | 27–28 |
| EBT1400F | 1,400 | ISO?F200/CF200 | 31,200 | 29–30 |
| EBT2400F | 2,400 | ISO?F250 | 31,200 | 45 |
半導(dǎo)體 / 光伏：鍍膜、刻蝕、離子注入配套高真空系統(tǒng)。
分析儀器：SEM、XPS、RGA、質(zhì)譜儀等超高真空環(huán)境。
科研 / 研發(fā)：UHV 系統(tǒng)、真空腔體、移動(dòng)真空車。
光學(xué) / 薄膜：玻璃鍍膜、LED/OLED 制程。
EBT（滾珠軸承）：機(jī)械陶瓷軸承，性價(jià)比高，維護(hù)簡(jiǎn)單，適合常規(guī)高真空與移動(dòng)場(chǎng)景。
EMT（磁懸浮）：5 軸磁懸浮，無(wú)接觸、無(wú)磨損、超低振動(dòng)，適合半導(dǎo)體嚴(yán)苛制程與 UHV 長(zhǎng)期運(yùn)行。
抽速匹配：按腔體體積、抽氣時(shí)間與前級(jí)泵配置選擇型號(hào)。
真空度需求：EBT 可實(shí)現(xiàn)10?? P 級(jí) UHV，滿足多數(shù)高精尖場(chǎng)景。
冷卻方式：緊湊型 / 移動(dòng)設(shè)備選風(fēng)冷；高負(fù)載 / 連續(xù)運(yùn)行選水冷。
法蘭接口：ISO?K 用于常規(guī)真空，CF 用于超高真空密封
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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