EBARA 荏原 EV?X100N 半導體級無油干式真空泵全新入庫，整機日本，現貨庫存充足，可快速響應各類項目訂單，解決進口設備訂貨周期久導致的項目進度滯后問題，是半導體制程、精密鍍膜、科研真空系統十分優選的前級真空泵。

EV?X100N 針對中小負荷半導體工藝開發，采用全無油干式螺桿結構，泵腔內部不使用潤滑油，整機采用風冷散熱，無需布置水冷管路以及冷卻機組，減少現場配套施工，設備擺放不受場地條件限制。從根源避免油霧反流污染真空腔體，持續輸出高潔凈真空，滿足各類精密制程對于腔體潔凈度的嚴格要求。

轉子采用高精度非接觸運轉結構，運動部件之間不存在直接摩擦，運行過程不會產生粉塵碎屑。對比傳統油旋片泵，省去頻繁更換泵油、過濾濾芯等周期性保養工作，有效減少后期維護工時以及物料消耗。機身做緊湊型優化設計，占地面積小，既可以機架獨立落地使用，也能夠集成裝配到整套真空設備當中，設備布局靈活，適配多種安裝條件。

整機經過減振降噪調校，運行振動小，噪音表現良好，不會對周邊精密儀器、光學元器件產生干擾。兼容 50Hz/60Hz 雙工況電網，國內工業現場直接通電即可運行，不需要額外加裝變頻配件。搭載完備的電控監測系統，具備過載保護、超溫報警、故障信號輸出功能，能夠對接上位機實現狀態監控，降低突發停機帶來的生產損耗。處理帶有微量腐蝕性工藝氣體時，可選配氮氣吹掃、防腐強化組件，進一步拓寬工藝適用范圍。

適用于半導體裝載鎖、等離子處理、PVD 鍍膜、真空檢漏、質譜儀器、電子顯微鏡、科研實驗真空腔體等場景，可直接替代老式油式真空泵以及老舊干式真空泵，提升真空環境品質，降低設備全周期運行成本。

本次到貨均為日本原裝全新整機，整機性能一致性穩定，現貨可支持樣機驗證、設備配套、批量項目采購，有效縮短客戶項目等待周期。

1、日本原裝整機進口，適配半導體中小負荷工藝2、現貨庫存直發，縮短進口設備交付周期3、全無油干式螺桿結構，杜絕油霧反流污染4、風冷無需水冷，現場基建配套簡單方便5、機身緊湊小巧，安裝形式靈活多變6、多重安全防護監測，振動噪音低，維護負擔小