EBARA 荏原 EV?X30N 小型半導體級無油干式真空泵全新入庫，整機日本生產，現貨庫存充足，能夠快速響應項目訂單，解決進口設備訂貨周期漫長引發的項目延期問題，是小型半導體制程、分析儀器、精密真空設備理想的前級真空泵。

EV?X30N 面向輕?中等負荷真空工況設計，采用全無油干式螺桿結構，泵腔內部無潤滑油參與工作，整機采用風冷散熱模式，無需水冷機組與水路管線配套，大幅簡化現場安裝條件，設備擺放不受基建條件約束。規避油霧反流造成腔體污染，持續輸出高潔凈真空，滿足精密工藝對內部潔凈度的嚴格要求。

轉子采用非接觸式精密運轉結構，運轉部件無直接摩擦，運行不會產生粉塵雜質。對比傳統油旋片泵，省去定期更換泵油、油霧過濾器等保養工序，減少后期維護工時與耗材投入。機身高度緊湊小巧，占用空間少，既可以機架獨立放置，也可直接內嵌集成于整機設備內部，非常適合設備內置化配套需求。

整機經過減振降噪優化，運行振動幅度低，噪音表現優異，不會干擾質譜、電子顯微鏡、光學檢測等精密儀器正常工作。支持 50Hz/60Hz 電網通用，國內工業現場通電即可使用，無需額外加裝變頻裝置。內置完整電控保護系統，具備過載保護、超溫報警、故障信號輸出，可對接上位機實現狀態監控，降低突發停機帶來的生產損耗。面對含有微量腐蝕性氣體工況，可選配氮氣吹掃、防腐強化組件，拓展工藝適用能力。

主要應用于半導體裝載鎖、等離子清洗、小型 PVD 設備、真空檢漏儀、質譜分析儀器、電子顯微鏡、高校科研真空腔體等場景，可直接替換小型油旋片泵、老舊渦旋干泵，提升真空潔凈度，降低設備全周期運行成本。

本次到貨全部為日本原裝全新整機，性能參數穩定統一，現貨可支持樣機驗證、設備配套、批量項目采購，縮短客戶項目等待周期。

1、日本原裝整機進口，適配小型半導體輕中負荷工藝2、現貨庫存直發，縮短進口設備交付周期3、全無油干式螺桿結構，杜絕油霧反流污染4、風冷無需水冷，現場安裝配套簡單5、機身小巧緊湊，支持設備內嵌集成6、多重電控安全防護，振動噪音低，維護量小