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中標超4900萬元！中科院半導體研究所大批半導體設備采購落地
2026年07月29日 09:48:13
來源：化工儀器網 點擊量：262
據化工儀器網不完全統計，2026年1月至7月，中國科學院半導體研究所共采購17臺/套半導體設備，采購總金額達4901.9275萬元。
近期，中國科學院半導體研究所大批半導體設備采購落地。據化工儀器網不完全統計，2026年1月至7月，中國科學院半導體研究所共采購17臺/套半導體設備，包括大面積光子晶體電子束曝光系統、多元素離子注入機、反應磁控濺射系統、高分辨場發射掃描電鏡等，采購總金額達4901.9275萬元。
此次中標項目中，Raith、爍科、芯微、元戎科技、蔡司、Newport等品牌成功中標。
中標詳情如下：
| 序號 | 貨物名稱 | 貨物品牌 | 貨物型號 | 貨物數量 | 貨物單價 |
| 1 | 大面積光子晶體電子束曝光系統 | Raith | VOYAGER Max | 1 | 1455.3075 |
| 2 | 多元素離子注入機 | 爍科 | 定制 | 1 | 1148 |
| 3 | 碳化硅高溫氧化爐 | 芯微 | XW-9000i8A | 1 | 510 |
| 4 | 晶圓平整度檢測儀 | TEST-WAY | ST-FS8000A | 1 | 247 |
| 5 | 反應磁控濺射系統 | 元戎科技 | YRSII-650 | 1 | 234 |
| 6 | 高分辨場發射掃描電鏡 | 蔡司 | Sigma 360 | 1 | 219.5 |
| 7 | 等離子體增強化學氣相沉積系統 | NAURA | Taurus i200PES | 1 | 205 |
| 8 | 自動打線設備 | 眾望 | K790-BA | 1 | 125 |
| 9 | 相位噪聲分析儀 | 電科思儀 | 4141H | 1 | 117.7 |
| 10 | 高溫退火爐 | 精誠華旗 | JS200-2F/NA | 1 | 116.9 |
| 11 | 高溫氧化爐 | 精誠華旗 | JS200-2F/OX | 1 | 106.9 |
| 12 | 多波段無源全自動測試系統 | APICO | AP-SSAS-WDM-BAR-1S16 | 1 | 100 |
| 13 | 自動耦合設備 | APICO | AP-AASS006-3X-CUSTOM | 1 | 100 |
| 14 | 自動貼片設備 | 日月威 | FL0-F3H | 1 | 63 |
| 15 | 高精度光學掃描顯微鏡 | Newport | 定制 | 1 | 54.22 |
| 16 | 圖形發生器系統 | Raith | Elphy Quantum | 1 | 50 |
| 17 | 雙通道信號源 | 中星聯華 | 定制 | 1 | 49.4 |
| 合計 | 17 | 4901.9275 | |||
| 來源：中國政府采購網 整理：化工儀器網 | |||||
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