半導體專用日本ULVAC愛發科多級羅茨型干泵

半導體專用日本ULVAC愛發科多級羅茨型干泵

?? HR300 核心參數速覽

? 核心特點與設計目標

與HR60/HR90相同，HR300同樣專為半導體行業的CVD（化學氣相沉積） 和蝕刻（Etch） 等嚴苛工藝設計，其核心特點包括：

• 高溫均熱化技術：通過使泵體在高溫下均勻受熱，將工藝中產生的升華性副產物以氣態形式排出，有效防止其在泵內凝結，保證泵的長期穩定運行。

• 高安全性設計：采用屏蔽電機（Canned Motor） 形成密閉的結構，實現了氦氣密封（Helium Tight），能有效防止有害氣體泄漏。

• 出色的耐用性：泵體主要部件經過特殊的表面處理，具有高表面硬度和高耐腐蝕性，以應對腐蝕性工藝氣體。

• 智能監控與保護：

• 瞬停對策：具備應對1000毫秒以內瞬時停電的能力。

• 通信功能：支持數據讀取和集中監控，可實時掌握泵的運轉狀態、警告和報警信息。

?? 重要操作限制

HR300（以及HR600、HR1200）請勿在吸入壓力高于200Pa的條件下連續運轉。這是為了防止泵溫超過設定上限而觸發聯鎖保護。

簡單來說，HR300是HR系列的更大流量型號，排氣速度顯著提升（50Hz下達359 m3/h），同時保持了與HR60/HR90相同的高溫均熱化、高耐腐蝕性和智能監控等核心設計理念，適用于對工藝處理量有更高要求的場景。