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是一家主要從事流體輸送設備、加藥系統、水質檢測分析及真空設備銷售與維護的企業，主要經營以下產品：氣動隔膜泵、加藥計量泵、粘度計、流量計、在線水質分析儀表以及各類真空泵類、檢漏設備等；產品*，價格公道。我司所提供的產品廣泛應用在水處理、化工、涂料、食品、制藥、金屬加工及半導體等行業，公司擁有專業的售后服務人員及檢測設備，為用戶長期提供各類設備的檢測、保養、維修服務。
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ULVAC愛發科ES4A干式真空泵節能裝置產品參數
| 產地類別 | 進口 | 產品類型 | 無油泵 |
| 價格區間 | 2萬-3萬 | 儀器種類 | 真空泵 |
| 應用領域 | 醫療衛生,化工,生物產業,電子/電池,半導體 |
ULVAC愛發科ES4A干式真空泵節能裝置詳細信息
ULVAC愛發科ES4A干式真空泵節能裝置ULVAC愛發科ES4A干式真空泵節能裝置
一、產品概述
ECO-SHOCK 是 ULVAC 專為LR、HR、GR 系列多級羅茨干式真空泵開發的節能增效配件，依托容積蓄能原理，針對鍍膜 Load Lock 腔體、半導體潔凈真空工況。在 1000Pa 以下長期穩態運行場景效果突出，在不降低泵抽速前提下削減耗電量，同時抑制泵體發熱、輔助降低排氣噪音。
適用介質：空氣、氮氣、氬氣等潔凈惰性氣體；嚴禁用于鹵素腐蝕氣體、大量升華結晶副產物、易燃易爆氣體工況。
二、核心產品特點
節能，最高節電 80%
腔體長期處于低壓力穩態運行時，大幅降低真空泵負載功耗；同時減少泵體發熱，連帶降低車間空調能耗。
參考實測（60Hz 工況）
LR60 搭配 ES4A：功耗 2.1kW→0.7kW，節電約 67%
LR90 搭配 ES4A：功耗 3.6kW→1.0kW，節電約 72%
LR180 搭配 ES10：功耗 6.6kW→1.6kW，節電約 76%
全程不損失抽氣性能
全壓力區間不會降低真空泵有效抽速，不影響腔體抽氣節拍、真空工藝穩定性。
附帶降噪、穩壓效果
穩定排氣氣流脈動，同步降低干泵排氣噪音，減少管路振動。
安裝便捷，改造簡單
串接在真空泵排氣管路，無需改動真空泵本體控制程序；自帶腳輪，現場管路改造工作量小。
狀態監控
搭載運行指示燈、故障報警輸出端子，可對接產線 PLC 自動化系統；整機取得 CE 安全認證。
三、型號適配清單
ES4A（中小型機組適配）
適配：LR60、LR90、GR60A、GR90A、HR60、HR90供電：單相 AC200V 50/60Hz
ES10（中大流量機組適配）
適配：LR180、LR300、GR180A、HR300供電：單相 AC200V 50/60Hz
四、典型應用場景
光電 / 泛半導體行業：濺射、蒸發鍍膜設備 Load Lock 進出料腔體配套 LR/HR 羅茨干泵節能改造；
潔凈真空量產線：長期維持中低真空、腔體循環抽氣工況；
科研中試平臺：中型潔凈真空腔體、真空測試系統配套干泵節能升級；
新能源行業：潔凈工況真空烘烤、原料脫氣真空系統節能改造。
五、選型區分對照
? ECO-SHOCK：節能附屬裝置，不能單獨抽真空，必須搭配羅茨干泵主機
HR 系列：半導體高溫工藝羅茨干泵（主機），適配刻蝕 / CVD 易結晶腐蝕工況
LR 系列：半導體常溫潔凈羅茨干泵（主機），晶圓設備 Load Lock 主流選型
GR 系列：通用工業常溫羅茨干泵（主機），面向工業真空干燥、脫泡
CR 系列：小型風冷羅茨干泵（主機），實驗室、小型設備集成
六、可選配套配件
KF 法蘭、氟橡膠密封套件、管路減震支架、遠程信號通訊線纜。
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內容聲明：
您訪問的ULVAC愛發科ES4A干式真空泵節能裝置產品信息，由玉崎半導體(深圳)有限公司自行發布提供，產品價格為面議，如您想了解更多關于ULVAC愛發科ES4A干式真空泵節能裝置型號、參數、用途等信息，歡迎咨詢。
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