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是一家主要從事流體輸送設備、加藥系統、水質檢測分析及真空設備銷售與維護的企業，主要經營以下產品：氣動隔膜泵、加藥計量泵、粘度計、流量計、在線水質分析儀表以及各類真空泵類、檢漏設備等；產品*，價格公道。我司所提供的產品廣泛應用在水處理、化工、涂料、食品、制藥、金屬加工及半導體等行業，公司擁有專業的售后服務人員及檢測設備，為用戶長期提供各類設備的檢測、保養、維修服務。
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ULVAC 愛發科 LR421 多級羅茨干式真空泵產品參數
| 產地類別 | 進口 | 產品類型 | 無油泵 |
| 價格區間 | 2萬-3萬 | 儀器種類 | 真空泵 |
| 應用領域 | 醫療衛生,化工,生物產業,電子/電池,半導體 |
ULVAC 愛發科 LR421 多級羅茨干式真空泵詳細信息
ULVAC 愛發科 LR421 多級羅茨干式真空泵ULVAC 愛發科 LR421 多級羅茨干式真空泵
一、產品概述
LR 系列是 ULVAC 面向半導體、光電設備開發的常溫潔凈型多級羅茨干式真空泵，無油干式水冷結構，無泵腔加熱系統。主打抽取空氣、氮氣等潔凈惰性氣體，適配鍍膜 Load Lock 腔體、真空熱處理、真空檢漏等無大量升華結晶物、無鹵素強腐蝕氣體的潔凈真空工況。同平臺高溫工藝版本為 HR 系列，工業通用常溫版本為 GR 系列。主流型號：LR60、LR90、LR300、LR600、LR1200。
二、核心產品特點
干式無油潔凈抽氣，杜絕返油污染
泵腔無潤滑油，轉子與腔體非接觸運轉，不存在油蒸汽返流，滿足晶圓、光學鍍膜、精密元器件等高潔凈工藝要求，替代傳統油旋片真空泵。
高壓區間耐受頻繁循環抽氣
在大氣壓至中真空區間抽速穩定，承受腔體反復破空、周期性抽氣工況，縮短腔體抽氣節拍，提升設備生產效率。
屏蔽式密封電機，長效防護可靠
一體化屏蔽電機，標配軸封氮氣密封通道，可通入少量密封氣，阻擋水汽、微量揮發性介質侵入軸承與電機；支持長時間 24h 連續量產。
水冷恒溫散熱，振動噪音低
一體化水冷結構穩定控制泵體溫升，整機振動小；可選 RS 系列排氣消音器進一步降低排氣噪音。
自動化保護與通訊功能
內置瞬時斷電保護，抵御電網短時波動；配備運行、預警、故障報警端子，支持工業通訊對接，可接入工廠 PLC 自動化管控；整機具備 CE 安全認證。
支持選配 ECO-SHOCK 節能裝置（ES4A/ES10）
腔體長期穩態低壓運行時，實現顯著節電，降低運營能耗。
三、系列核心性能總覽
LR60
50Hz 最大抽速 62m3/h，60Hz 最大抽速 80m3/h；極限壓力≤5Pa；法蘭 VG50；重量 128kg
LR90
50Hz 最大抽速 112m3/h，60Hz 最大抽速 126m3/h；極限壓力≤5Pa；法蘭 VG80；重量 188kg
LR300
50Hz 最大抽速 290m3/h，60Hz 最大抽速 335m3/h；極限壓力≤5Pa；法蘭 ISO-F100；重量 460kg
LR600
50Hz 最大抽速 570m3/h，60Hz 最大抽速 650m3/h；極限壓力≤5Pa；法蘭 ISO-F100；重量 720kg
LR1200
50Hz 最大抽速 1012m3/h，60Hz 最大抽速 1051m3/h；極限壓力≤0.67Pa；法蘭 VG100；重量約 420kg供電統一：三相 AC200V 50/60Hz；冷卻方式：水冷，冷卻水壓力 0.1~0.3MPa；標配軸封密封氣 5SLM。
四、典型應用場景
泛半導體 / 光電行業：濺射、蒸發鍍膜設備 Load Lock 進出料腔體前級抽氣；
通用精密真空：真空熱處理爐、真空檢漏系統、罐體氣體置換；
新能源行業：潔凈工況電芯真空烘烤、原料脫氣工序；
科研中試平臺：潔凈真空腔體、中型真空測試系統配套。
五、選型區分對照
LR 系列：半導體常溫潔凈羅茨干泵；無腔體加熱；適合潔凈氣體、無升華結晶副產物；不可用于刻蝕 / CVD 鹵素腐蝕工藝
HR 系列：半導體高溫工藝款，自帶泵腔加熱防結晶，適配刻蝕、CVD、ALD 腐蝕制程
GR 系列：通用工業常溫羅茨泵，面向工業真空干燥、脫泡，設備集成門檻更低
LS/MS 螺桿系列：螺桿式干泵，結構形式不同，擅長粉塵排出，不適合鍍膜 Load Lock 潔凈腔體主流選型
CR 系列：小型風冷羅茨干泵，無需水冷，多用于實驗室小型設備
六、可選配套配件
RS 系列排氣消音器、ECO-SHOCK 節能裝置（ES4A/ES10）、進氣粉塵過濾器、重型減震底座、KF/ISO 法蘭密封套件、遠程通訊線纜。
規格
| 模型 | LR60 | LR90 | LR180 | LR421 | LR421-T | ||
| 最大排氣速度 | 50赫茲 | 立方米/小時（ 升/分鐘） | 62 (1030) | 112 (1860) | 183 (3100) | 440 (7333) | |
| 60赫茲 | 立方米/小時（ 升/分鐘） | 80 (1333) | 126 (2100) | 237 (3950) | 440 (7333) | ||
| 極限壓力 | 5.0 帕 | ||||||
| 最大進氣壓力（進氣壓力） | 氣壓 | ||||||
| 最大排氣壓力（排放壓力） | 1帕 ≈ 大氣壓 | ||||||
| 進氣口（CE規范） | VG50 (KF50) | VG80 (KF50) | VG100 | ||||
| 排氣口 | KF40 | VG50 | |||||
| 大量的 | 公斤 | 180 | 245 | 335 | 415 | ||
| 電力 *1 | 三相 | 交流電（赫茲） | 200 (50/60), 220 (60) | 180~240 / 380~440 (50/60) | |||
| 當前值 | 穩定狀態 | 一個 | 6.9（200V時） | 11.2（200V時） | 18.9（200V時） | 20.8（200V時） | |
| 最大值 | 一個 | 7.3（200V時） | 11.8（200V時） | 20.6（200V時） | 48.5（200V時） | ||
| 冷卻水一次壓力 | 兆帕 | 0.1~0.3 | 0.2~0.5 | ||||
| 冷卻水進/出口壓差 | 兆帕 | >0.1 | >0.2 | ||||
| 冷卻水流量 | 升/分鐘 | >5.0 | >4.0 | ||||
| 吹掃氣體 | 一次壓力 | 兆帕 | 0.1~0.5 | ||||
| 二次壓力 | 兆帕 | 0.05~0.1 | |||||
| N2吹掃 | 軸 | 空間光調制 | 5 | ||||
| 加斯巴拉 | 空間光調制 | 0-45 | 沒有任何 | 0-45 | |||
*1 請在訂購時注明。
| 模型 | LR300 | LR600 | LR1200 | LR1800 | LR3601 | LR3601-T(TT) | LR3601-R | LR3601-TR(TTR) | ||
| 泵 | DRP | LR60 | LR90 | LR90 | LR180 | LR421 | LR421-T | LR421 | LR421-T | |
| MPB | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | PRC-018A | PRC-036C | PRC-036C(-T) | PRC-036D | PRC-036D(DT) | ||
| 最大排氣速度 | 50赫茲 | 立方米/小時（ 升/分鐘） | 359 (5,980) | 653 (10,900) | 1,012 (16,900) | 1,701 (28,350) | 3,200 (53,333) | |||
| 60赫茲 | 立方米/小時（ 升/分鐘） | 365 (6,080) | 701 （11,700） | 10.51億 （17500） | 1,784 (29,700) | 3,200 (53,333) | ||||
| 極限壓力 | 0.67 帕 | |||||||||
| 最大進氣壓力（進氣壓力） | 氣壓 | |||||||||
| 最大排氣壓力（排放壓力） | 1帕 ≈ 大氣壓 | |||||||||
| 進氣口（CE規范） | VG80 (KF80) | VG100 (KF100) | VG150 (KF100) | VG150 | ||||||
| 排氣口 | KF40 | KF50 | ||||||||
| MBP表面處理 | 〇 *2 | 〇 *2 | 〇 *2 | 〇 *2 | × | T:× TT:× | × | TR：× TTR：○ | ||
| 大量的 | 公斤 | 275 | 370 | 420 | 545 | 660 | 720 | 660 | 720 | |
| 電力 *3 | 三相 | 交流電（赫茲） | 200 (50/60), 220 (60) | 180~240 / 380~440 (50/60) | ||||||
| 當前值 | 穩定狀態 | 一個 | 7.0 （200V時） | 12.3 （200V時） | 13.7 （200V時） | 21.4 （200V時） | 31.0（200V時） 20.5（400V時） | 35.4（200V時） 20.5（400V時） | ||
| 最大值 | 一個 | 9.6 （200V時） | 19.0 （200V時） | 24.2 （200V時） | 39.8 （200V時） | 58.4（200V時） 40.5（400V時） | 82.0（200V時） 40.5（400V時） | |||
| 冷卻水一次壓力 | 兆帕 | 0.1~0.3 | 0.2~0.5 | |||||||
| 冷卻水進/出口壓差 | 兆帕 | >0.1 | 0.1~0.3 | 0.2~0.5 | ||||||
| 冷卻水流量 | 升/分鐘 | >5.0 | >4.0 | |||||||
| 吹掃氣體 | 一次壓力 | 兆帕 | 0.1~0.5 | |||||||
| 二次壓力 | 兆帕 | 0.05~0.1 | ||||||||
| N2吹掃 | 軸 | 空間光調制 | 5 | |||||||
| 加斯巴拉 | 空間光調制 | 0-45 | 無 *4 | 0-45 | 無 *4 | 0-45 | ||||
*2 適用于 LR300、LR600、LR1200 和 LR1800 的 MBP 型號可選擇表面處理或不表面處理。
*3 訂購時請注明。
*4 根據具體應用，我們還可以提供可使用管的規格報價。
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內容聲明：
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