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EBARA荏原  干式真空泵  耐蝕長效

EBARA荏原  干式真空泵  耐蝕長效

ESA 是水冷多級羅茨干式真空泵，專攻氫氣 / 氦氣等輕質(zhì)氣體抽取、大腔體快速粗抽，為 MO-CVD、外延 EPI、大型 Loadlock 專屬機型，和 EV-M、EV-X 分三大真空產(chǎn)品線：

核心產(chǎn)品特點

核心水力優(yōu)勢（ESA ）

羅茨專用轉(zhuǎn)子型線，氫氣抽氣效率遠超螺桿 EV-X，MO-CVD、氫氣外延工藝真空穩(wěn)定性；

大直徑轉(zhuǎn)子，同等抽速體積更小，Subfab 設備間節(jié)省空間；

智能轉(zhuǎn)速自適應，高氣體負荷自動升轉(zhuǎn)速，空載低功率節(jié)能；

寬流量穩(wěn)定曲線，腔體容積波動抽氣速度衰減極小，大型 Loadlock 快速破空抽真空。

水冷防腐耐久結(jié)構(gòu)

整機循環(huán)水冷控溫，抑制有機副產(chǎn)物、粉塵凝結(jié)，大幅降低卡泵故障；

WN 款標配 NiResist 耐蝕合金腔體，耐受微量鹵素腐蝕，保養(yǎng)周期 3~5 年；

分段多路氮氣吹掃，隔離工藝氣體侵蝕轉(zhuǎn)子與密封；

多級非接觸羅茨轉(zhuǎn)子，全程無油潤滑，無油氣污染晶圓腔體。

智能電控與安全防護

-D型號內(nèi)置液晶觸控面板，可自定義報警閾值、存儲故障記錄；

多重聯(lián)鎖保護：缺水、過熱、過載、堵轉(zhuǎn)、氮氣低壓自動停機；

RS485 標準通訊接口，對接產(chǎn)線 MES 中控系統(tǒng)，遠程監(jiān)控預警；

可選有機溶劑專用排氣結(jié)構(gòu)，適配光刻、鍍膜有機廢氣工況。

應用場景

半導體芯片：MO-CVD、EPI 外延、氫氣沉積、大型 Loadlock 粗抽；

光伏新能源：PECVD 鍍膜、硅片真空干燥、大腔體抽氣；

顯示面板：LCD/OLED 濺射、蒸鍍設備、大型真空腔體；

精密真空：有機溶媒熱處理、科研氫氣實驗設備。