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日本EBARA荏原最早創(chuàng)立于1912年，正式成立于1920年，總部位于日本東京，是一家擁有百年歷史的日本企業(yè)。主要產(chǎn)品品種有泵、制冷機(jī)、冷卻塔、風(fēng)機(jī)、渦輪機(jī)、垃圾焚燒設(shè)施、真空泵、CMP設(shè)備、廢棄處理設(shè)備、電鍍設(shè)備等。
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EBARA荏原 干式真空泵 腔體速抽產(chǎn)品參數(shù)
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品類型 | 無油泵 |
| 價(jià)格區(qū)間 | 1萬-2萬 | 儀器種類 | 螺桿泵 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,能源,電子/電池,綜合 |
EBARA荏原 干式真空泵 腔體速抽詳細(xì)信息
EBARA荏原 干式真空泵 腔體速抽
EBARA荏原 干式真空泵 腔體速抽
ESA 是水冷多級羅茨干式真空泵，專攻氫氣 / 氦氣等輕質(zhì)氣體抽取、大腔體快速粗抽，為 MO-CVD、外延 EPI、大型 Loadlock 專屬機(jī)型，和 EV-M、EV-X 分三大真空產(chǎn)品線：
核心產(chǎn)品特點(diǎn)
核心水力優(yōu)勢（ESA ）
羅茨專用轉(zhuǎn)子型線，氫氣抽氣效率遠(yuǎn)超螺桿 EV-X，MO-CVD、氫氣外延工藝真空穩(wěn)定性；
大直徑轉(zhuǎn)子，同等抽速體積更小，Subfab 設(shè)備間節(jié)省空間；
智能轉(zhuǎn)速自適應(yīng)，高氣體負(fù)荷自動升轉(zhuǎn)速，空載低功率節(jié)能；
寬流量穩(wěn)定曲線，腔體容積波動抽氣速度衰減極小，大型 Loadlock 快速破空抽真空。
水冷防腐耐久結(jié)構(gòu)
整機(jī)循環(huán)水冷控溫，抑制有機(jī)副產(chǎn)物、粉塵凝結(jié)，大幅降低卡泵故障；
WN 款標(biāo)配 NiResist 耐蝕合金腔體，耐受微量鹵素腐蝕，保養(yǎng)周期 3~5 年；
分段多路氮?dú)獯祾撸綦x工藝氣體侵蝕轉(zhuǎn)子與密封；
多級非接觸羅茨轉(zhuǎn)子，全程無油潤滑，無油氣污染晶圓腔體。
智能電控與安全防護(hù)
-D型號內(nèi)置液晶觸控面板，可自定義報(bào)警閾值、存儲故障記錄；
多重聯(lián)鎖保護(hù)：缺水、過熱、過載、堵轉(zhuǎn)、氮?dú)獾蛪鹤詣油C(jī)；
RS485 標(biāo)準(zhǔn)通訊接口，對接產(chǎn)線 MES 中控系統(tǒng)，遠(yuǎn)程監(jiān)控預(yù)警；
可選有機(jī)溶劑專用排氣結(jié)構(gòu)，適配光刻、鍍膜有機(jī)廢氣工況。
應(yīng)用場景
半導(dǎo)體芯片：MO-CVD、EPI 外延、氫氣沉積、大型 Loadlock 粗抽；
光伏新能源：PECVD 鍍膜、硅片真空干燥、大腔體抽氣；
顯示面板：LCD/OLED 濺射、蒸鍍設(shè)備、大型真空腔體；
精密真空：有機(jī)溶媒熱處理、科研氫氣實(shí)驗(yàn)設(shè)備。
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內(nèi)容聲明：
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