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產品簡介
| 激發方式 | 電弧 | 價格區間 | 60萬-100萬 |
| 檢測器類 | 光電倍增管(PMT) | 儀器種類 | 移動、便攜式 |
| 應用領域 | 生物產業,能源,制藥/生物制藥,綜合,半導體 |
進口代理OTSUKA大塚電子線上膜厚檢測系統
進口代理OTSUKA大塚電子線上膜厚檢測系統
Line scan量測原理 |
以往的自動量測方式,于薄膜制程的膜厚是點的量測,無法做全面檢查。
不符合標準的周圍部分全部切除廢棄,提升良率及生產效率是需要克服的課題。
Line scan采用影像感測器(Image sensor),將取得的光信號轉換成類比信號的量測方式。
相較于市面上常見的X光以及紅外線量測方式,大冢所采用的光譜干涉方式除了可完整對應生產線上的即時量測需求外,搭配的膜厚演算處理技術也提供了具備高度信賴性的量測精度。
目前Line Scan系列(線量測)主要適用于全幅寬的膜厚檢測用途,以往采用光譜儀搭配光纖或者是顯微鏡系統的量測設備(點量測)僅能針對單一點位或區域進行膜厚檢測,如要進行全面膜厚均勻性檢測的場合通常就需要采用密集點位量測方式來應對。
整體量測不僅耗時費工,如發生工程品質不良問題也不容易進行產線追溯。
LineScan方式的膜厚計,采用獨自開發的光干涉法的組合高速、高精度膜厚演算技術,實現最短0.01秒間隔,500mm幅寬(使用1臺時)的全面膜厚量測。
寬幅度的薄膜也可裝置多臺檢出器得到相同的結果。
LineScan量測實際案例 |

不易受到薄膜的分布及皺褶影響,期待貢獻在各個領域上薄膜品的品質管理上更加精進。
特色1:藉由1次影像擷取來取得即時的2維光譜
特色2:具備高度空間解析以及波長解析能力
LineScan線上膜厚檢測系統軟體畫面 |
?薄膜的厚度(全幅、全長量測)
LineScan線上膜厚檢測系統量測對象 |
?光學薄膜、膠粘膜、包裝薄膜、導電薄膜
| InLine樣式 | OffLine樣式 | |
|---|---|---|
| 膜厚范圍 | 0.1~300 μm | |
| 量測幅寬 | 500 mm~最大 10 m | 250毫米 |
| 量測間隔 | 1毫秒~ | |
| 尺寸(W×D×H) | 81×140×343 毫米 | 459×609×927 毫米 |
| 重量 | 4 kg(量測頭部分) | 60公斤 |
| 電源 | 交流100伏±10% 125伏安 | |

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大塚電子主要銷售用于光學特性評價?檢查的裝置。其裝置用于在LED、OLED、汽車前燈等的光源?照明產業以及液晶顯示器、有機EL顯示器等平板顯示產業以及其相關材料的光學特性評價?檢查。以高速?高精度?高可靠性且有市場實際應用的分光器MCPD系列為基礎,在中國的顯示器市場上有著20年以上銷售實例,為許多廠家在研究開發、生產部門所使用。并且在光源?照明相關方面,對國家級研究機構、各個廠家的銷售量在逐步擴大。
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