到貨全新ULVAC愛發科振膜厚速率控制器

到貨全新ULVAC愛發科振膜厚速率控制器

CRTM-R1 是日本 ULVAC 新一代阻抗檢測式石英晶振膜厚速率控制器，依托阻抗同步測量算法，解決傳統單測頻率帶來的速率跳變、溫漂干擾問題，精準管控蒸鍍、磁控濺射薄膜厚度與沉積速率，適配光學、半導體、OLED、鈣鈦礦光伏等高精密真空鍍膜產線。

核心規格參數抽吸流量：＜0.03 SLM，遠低于 BS9（3SLM），微量氦氣不易被空氣稀釋，微漏信號辨識度拉滿檢測量程：0.01×10?? ~ 1×10?? Pa?m3/s，可捕捉 10??量級超微泄漏結構配置細長金屬探針，可伸入法蘭夾縫、微型閥體、狹小腔體縫隙標準軟管 2m/5m/10m，支持 1m 單位加長定制，遠距離手持操作無拖拽阻力獨立控制主機通訊直連檢漏儀，一鍵真空 / 嗅探模式自動切換，無需手動改參數配套校驗：搭配 CLM 標準漏孔可完成嗅探通道整機校對，出廠精度標定，檢測偏差穩定控制在 ±10% 內

特色

采用新的測量方法大大提升了速率穩定性。

能力（CI值）測量提升了晶體板的異常檢測能力。

憑借出色的膠片厚度和速率分辨率（0.0018? @5MHz），也非常適合低速率沉積控制。

最多可同時控制8個沉積。 （添加選項時）

通信方式支持以太網和RS-232C。

主機上存儲的各種日志數據可以以CSV格式傳輸到USB。