13027923555
當前位置：池田屋貿易（深圳）有限公司>>ULVAC 愛發科>> VLP - SB020JH現貨原廠ULVAC愛發科復式氣動真空角閥
| 供貨周期 | 一個月 | 規格 | 看參數 |
|---|---|---|---|
| 貨號 | 1302s79s23z555 | 應用領域 | 綜合 |
| 主要用途 | 半導體 |
現貨原廠ULVAC愛發科復式氣動真空角閥
現貨原廠ULVAC愛發科復式氣動真空角閥
采用波紋管密封是VLP-SB020JH最核心的特點。與O型圈密封相比，波紋管是金屬焊接的，能實現極低的漏率和更高的潔凈度，因為它幾乎不產生微粒。這使得它非常適合對真空度和清潔度有嚴苛要求的半導體、薄膜制備等應用。
| 參數項目 | 規格指標 |
|---|---|
| 產品型號 | VLP-SB020JH |
| 品牌 | ULVAC (愛發科) |
| 類型 | 氣動式真空角閥 (L型閥) |
| 閥板最大允許差壓 | 0.10 MPa |
| 閥板密封方式 | O型圈 (O-ring) |
| 軸封方式 | 波紋管 (Bellows) |
| 驅動系統 | 雙作用氣缸 (Double-acting cylinder) |
| 外部漏率 | ≤1.0×10?1? Pa·m3/s |
| 內部漏率 | ≤1.0×10?1? Pa·m3/s |
| 工作壓力范圍 | 大氣壓 ～ 1.0×10?? Pa (絕壓) |
| 烘烤溫度 (停止時) | 閥體：150℃；驅動單元：70℃ |
| 工作環境溫度 | 5 ～ 70℃ |
| 工作流體溫度 | 5 ～ 70℃ |
| 升降溫速率 | ≤30 ℃/h |
| 氣缸供氣壓力 | 0.40 ～ 0.60 MPaG |
| 保證操作次數 | 10,000 次 |
| 安裝 | 無限制 |
| 位置指示器 | 可選 (另售) |
| 主要部件材質 (真空側) | SUS304 不銹鋼 |
| 主要部件材質 (大氣側) | SUS304 不銹鋼, 鋁6061 (陽極氧化) |
| 波紋管材質 | SUS316L 不銹鋼 |
| 密封材質 (真空側) | FKM (氟橡膠) |
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