13027923555
當前位置：池田屋貿易（深圳）有限公司>>ULVAC 愛發科>> VLP-SA080JH原廠現貨ULVAC愛發科L 型真空角閥
| 供貨周期 | 一個月 | 規格 | 看參數 |
|---|---|---|---|
| 貨號 | 1302s79s23z555 | 應用領域 | 綜合 |
| 主要用途 | 半導體 |
原廠現貨ULVAC愛發科L 型真空角閥
原廠現貨ULVAC愛發科L 型真空角閥
VLP-SA080JH屬于ULVAC的VLP系列真空角閥，該系列閥門以其不銹鋼(SUS)材質和可烘烤至150℃的特性而聞名。它主要用于在高真空環境下，通過氣動控制來開啟或關閉氣流通道。
| 參數項目 | 規格指標 |
|---|---|
| 產品型號 | VLP-SA080JH |
| 品牌 | ULVAC (愛發科) |
| 類型 | 真空角閥 (L型閥) |
| 閥板允許最大差壓 | 0.10 MPa |
| 閥板密封方式 | O型圈 (O-ring) |
| 軸封方式 | O型圈 (O-ring) |
| 驅動系統 | 雙作用氣缸 (Double-acting cylinder) |
| 外部漏率 | ≤1.0×10?1? Pa·m3/s |
| 內部漏率 | ≤1.0×10?1? Pa·m3/s |
| 工作壓力范圍 | 大氣壓 ～ 1.0×10?? Pa (絕壓) |
| 烘烤溫度 (停止時) | 閥體：150℃；驅動單元：70℃ |
| 工作環境溫度 | 5 ～ 70℃ |
| 工作流體溫度 | 5 ～ 70℃ |
| 升降溫速率 | ≤30 ℃/h |
| 氣缸供氣壓力 | 0.40 ～ 0.60 MPaG |
| 保證操作次數 | 100,000 次 |
| 主要部件材質 (真空側) | SUS304 |
| 主要部件材質 (大氣側) | SUS304, 鋁6061 (陽極氧化) |
| 密封材質 (真空側) | FKM (氟橡膠) |
| 潤滑脂 (真空側) | 氟潤滑脂 |
主要應用場景
基于其不銹鋼材質、高真空兼容性及可烘烤特性，該閥門適用于對清潔度和真空度有較高要求的場合，例如：
• 半導體、FPD（平板顯示器） 制造設備
• 光伏（太陽能電池） 生產設備
• 真空鍍膜設備
• 各類高真空及超高真空實驗與研究系統
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