VLP-SA020JH 屬于 ULVAC VLP 系列雙動式（雙作用）氣動真空角閥，采用 L 型角閥結構，DN20 通徑、JIS-VF 標準法蘭接口；閥體為 SUS304 不銹鋼，O 形圈軸封結構，依靠兩路氣源分別控制閥門開啟與閉合，無內置復位彈簧，斷氣可保持當前閥位。適配高真空蒸鍍系統，廣泛用作腔體隔斷閥、粗抽閥、旁路閥，是光學鍍膜、OLED、半導體真空設備主流管路通斷元件。

核心優勢與特點

• 快速響應：氣壓驅動使閥門開關迅速，適用于需要快速切斷或開啟氣流的自動化工藝。

• 雙向控制：開關動作均可控，不像單動式依賴彈簧，在需要精確控制開關速度的場景下更有優勢。

• 高可靠性：設計簡潔，動作直接，保證了長期穩定的運行。例如，愛發科(ULVAC)的VLP系列雙動式閥門保證操作循環次數高達10萬次。

• 廣泛的真空適應性：適用于從大氣壓到高真空的廣泛范圍。以愛發科VLP-SA系列為例，其工作壓力范圍為 大氣壓 ～ 1.0×10?? Pa。

• 優異的密封性：可實現極低的泄漏率。例如，VLP-SA系列的內、外部泄漏率均可低至 ≤1.0×10?1? Pa·m3/s。

工作原理

你可以將雙動式氣動真空角閥理解為一個由氣動“開關"控制的通道。它的工作循環如下：

1. 開啟：向氣缸的一側通入壓縮空氣，氣壓推動活塞和閥桿，將閥板從閥座上提起，打開閥門通道。

2. 關閉：向氣缸的另一側通入壓縮空氣，氣壓推動活塞反向運動，將閥板壓緊在閥座上，實現密封關閉。

3. 控制：通過電磁閥等控制元件切換壓縮空氣的流向，即可實現對閥門的遠程自動化控制。由于是氣壓直接驅動，其響應速度可以達到毫秒級。

應用場景

雙動式氣動真空角閥憑借其精準控制和快速響應的特點，廣泛應用于各類對自動化控制要求較高的真空系統中：

• 半導體與FPD（平板顯示器） 制造設備

• 真空鍍膜設備（如光學鍍膜、卷繞鍍膜等）

• 光伏（太陽能電池） 生產設備

• 各類需要遠程或自動控制的科研實驗真空系統