13027923555
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| 供貨周期 | 一個月 | 規格 | 看參數 |
|---|---|---|---|
| 貨號 | 1302s79s23z555 | 應用領域 | 綜合 |
| 主要用途 | 半導體 |
現貨ULVAC愛發科復動式氣動真空角閥
現貨ULVAC愛發科復動式氣動真空角閥
VLP-SA065JH 是日本愛發科 (ULVAC) 旗下一款高性能的雙動式氣動真空角閥，屬于其VLP系列。該產品以其不銹鋼材質、可烘烤至150°C的特性以及密封性為主要特點，適用于從大氣壓到高真空的廣泛場景。
| 參數項目 | 規格詳情 |
|---|---|
| 閥門系列 | VLP-SA |
| 驅動方式 | 雙動式氣缸 (Double-acting cylinder) |
| 閥板最大允許壓差 | 0.10 MPa (正壓/反壓) |
| 開啟方向最大允許壓差 | 0.10 MPa (正壓/反壓) |
| 外部泄漏率 | ≤ 1.0×10?1? Pa?m3/s |
| 內部泄漏率 | ≤ 1.0×10?1? Pa?m3/s |
| 工作壓力范圍 | 大氣壓 ～ 1.0×10?? Pa (絕壓) |
| 烘烤溫度 (停止時) | 閥體：150°C 驅動部：70°C (指示器：60°C) |
| 工作環境/流體溫度 | 5 ～ 70°C |
| 升降溫速度 | ≤ 30 °C/h |
| 工作環境/流體 | 必須為非腐蝕性 |
| 驅動壓縮空氣壓力 | 0.40 ～ 0.60 MPaG |
| 保證操作循環 | 100,000 次 |
| 安裝方向 | 無限制 |
| 位置指示器 | 可選配件 (需另購) |
| 主要零件材質 | 真空側：不銹鋼304 大氣側：不銹鋼304、鋁6061(陽極氧化) |
| 密封材質 (真空側) | FKM (氟橡膠) |
| 潤滑脂 (真空側) | 氟素潤滑脂 |
主要特點
• 優異的耐熱性：閥體采用SUS304不銹鋼制造，允許在關閉狀態下烘烤至150°C這對于需要去除腔體殘留水汽的真空工藝至關重要。
• 靈活的接口選擇：提供4種標準法蘭接口可選，包括JIS-VF、ISO-KF、ISO-K和ISO-CF能適應不同的真空系統連接需求。
• 高可靠性：設計保證操作循環次數高達10萬次，確保了長期穩定的運行。
• 雙動式驅動：通過壓縮空氣控制閥門的開啟和關閉，響應迅速，適合自動化控制
主要應用場景
基于其不銹鋼材質、高真空兼容性及可烘烤特性，該閥門適用于對清潔度和真空度有較高要求的場合，例如：
• 半導體、FPD（平板顯示器） 制造設備
• 光伏（太陽能電池） 生產設備
• 真空鍍膜設備
• 各類高真空及超高真空實驗與研究系統
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