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當前位置：池田屋貿易（深圳）有限公司>>ULVAC 愛發科>> CRTS-M6現貨原裝ULVAC愛發科回轉式多晶振傳感器
| 供貨周期 | 一個月 | 規格 | 看參數 |
|---|---|---|---|
| 貨號 | 1302s79s23z555 | 應用領域 | 綜合 |
| 主要用途 | 半導體 |
現貨原裝ULVAC愛發科回轉式多晶振傳感器
現貨原裝ULVAC愛發科回轉式多晶振傳感器
CRTS-M6 是日本 ULVAC 愛發科晶體振蕩成膜控制器 CRTM 系列專用旋轉式多晶振傳感器，真空腔體內部安裝，內置真空步進電機實現晶振片自動輪換，最多搭載6 片 AT 切割石英晶振。
針對連續蒸鍍、厚膜沉積場景，晶振片壽命耗盡、振蕩異常時可自動切換下一片晶振，無需停機開腔更換晶振，大幅提升真空鍍膜設備連續稼動率。
核心用途：作為薄膜沉積過程的監控傳感器，主要用于高速率蒸發和連續多層蒸發等工藝中。
工作原理：通過測量水晶振蕩片的頻率變化來實時監測薄膜厚度。
智能切換：當監測到當前水晶片振蕩異常時，可自動切換至下一枚，確保工藝不中斷。
產品核心規格
| 參數項目 | 規格詳情 |
|---|---|
| 產品型號 | CRTS-M6 |
| 產品類型 | 回轉式多傳感器，專為水晶振蕩式成膜控制器CRTM系列開發 |
| 搭載水晶片數 | 6枚 |
| 兼容水晶片 | 4MHz、5MHz 或 6MHz 的AT切割水晶片（可選） |
| 耐熱溫度 | 最高 350°C |
| 冷卻水流量 | 要求 1 升/分鐘 |
| 傳感器頭重量 | 1 公斤 |
| 傳感器頭尺寸 | Φ50mm x 高約89mm |
| 參數項目 | 規格詳情 |
|---|---|
| 數字輸入信號 | INIT (初始化), CNT (計數), STOP (停止) |
| 數字輸出信號 | Sensor No. (傳感器編號), BUSY (忙碌), ERROR (錯誤), RETRY (重試), END (結束) |
| 電源 | DC 24V, 3.0A |
| 控制器尺寸 (寬x深x高) | 100mm x 252mm x 99mm |
應用領域
該傳感器廣泛用于高速率蒸鍍和連續多層蒸鍍的工藝控制中
主要應用包括：
• 光學元件與光通信部件的蒸鍍
• 有機EL材料的蒸鍍
• 電子部件及其他蒸發工藝
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