專為半導(dǎo)體光刻、水處理消毒及表面殺菌工藝打造的專用紫外照度計(jì)正式上市

【2026年7月·上海訊】全球精密光源及紫外檢測技術(shù) USHIO（牛尾）今日宣布，正式面向全球市場推出全新一代 UVD-C254 一體式深紫外照度計(jì)。作為 UIT-250 紫外積算光量計(jì)產(chǎn)品線的最新成員，該產(chǎn)品專為 254nm 深紫外線輻照強(qiáng)度的精確測量而設(shè)計(jì)，旨在為半導(dǎo)體光刻工藝監(jiān)控、水處理消毒劑量驗(yàn)證、表面殺菌及科研實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域提供一套高精度、便攜式的標(biāo)準(zhǔn)化檢測工具。

這是 USHIO 在深紫外檢測領(lǐng)域推出的又一款專業(yè)化新品，其上市標(biāo)志著 254nm 波段現(xiàn)場級精確測量從依賴通用探頭的“估算模式"邁入了專用儀器“精準(zhǔn)量化"的新階段。

精準(zhǔn)鎖定 254nm，從源頭保證測量純正

254nm 紫外線是水處理、空氣凈化和表面消毒的核心有效波段，同時(shí)也是部分特殊光刻工藝的關(guān)鍵譜線。然而，實(shí)際測量環(huán)境中往往混雜著 365nm UVA、可見光及其他雜散光，傳統(tǒng)寬譜探頭容易產(chǎn)生“虛假讀數(shù)"，導(dǎo)致測量偏差。

全新 UVD-C254 從源頭解決這一痛點(diǎn)。新品內(nèi)部搭載高靈敏度硅光電二極管與專用窄帶干涉濾光片的組合，光譜響應(yīng)峰值精確鎖定于 254nm，靈敏度波長范圍收窄至 220nm~310nm，而對 365nm（UVA）及可見光波段的響應(yīng)抑制比大于 10?3。這一純物理層面的光譜選擇性，確保用戶即使在高雜散光工業(yè)環(huán)境中，也能讀取到純凈、真實(shí)的 254nm 輻射強(qiáng)度數(shù)據(jù)。

三大核心技術(shù)，保障工業(yè)級測量可靠性

作為一款面向工業(yè)現(xiàn)場的新品，UVD-C254 在核心性能上做足了功課：

• 寬量程高線性：支持 0.001~99.99 mW/cm2 三檔量程手動(dòng)切換，覆蓋從微弱泄漏檢測到強(qiáng)光輻照測量的全場景需求。新品內(nèi)置分段線性補(bǔ)償算法，全量程非線性誤差控制在 ±1% 以內(nèi)，高低量程切換無需頻繁歸零，大幅提升現(xiàn)場效率。

• 熱漂移主動(dòng)抑制：針對 UVC 光源普遍伴隨熱輻射的特點(diǎn)，新品在探頭基座集成熱補(bǔ)償電阻網(wǎng)絡(luò)，0~50℃工作溫度范圍內(nèi)溫度漂移系數(shù)優(yōu)于 ±0.2%/℃，確保長時(shí)間連續(xù)測量的數(shù)據(jù)重復(fù)性。

• 一體化便攜設(shè)計(jì)：探頭與主機(jī)一體化手持式結(jié)構(gòu)，體積小巧，配以大尺寸液晶顯示屏，可同步顯示實(shí)時(shí)照度、峰值保持值與電池電量，支持一鍵歸零與峰值鎖定，便于在狹窄設(shè)備腔體或高空管線間單手操作。

適配模塊化平臺(tái)，一機(jī)覆蓋全紫外波段

UVD-C254 與 USHIO UIT-250 紫外積算光量計(jì)主機(jī)兼容。用戶僅需更換不同型號(hào)的受光部（如 UVD-C365 用于 365nm 測量、UVD-S405 用于 405nm 測量等），即可實(shí)現(xiàn)從 172nm 深紫外到 405nm 近紫外全波段的精準(zhǔn)測量覆蓋。這一模塊化設(shè)計(jì)使一臺(tái)主機(jī)能夠靈活適配光刻、固化、消毒等不同工藝場景的檢測需求，有效降低用戶的綜合設(shè)備成本。

上市反饋積極，應(yīng)用前景廣闊

新品在近期光學(xué)博覽會(huì)上提前亮相并設(shè)立體驗(yàn)專區(qū)，吸引了來自半導(dǎo)體制造、水處理工程、表面殺菌及科研院所等領(lǐng)域?qū)I(yè)人士的關(guān)注與試用。多位體驗(yàn)者表示，UVD-C254 的便攜性與測量準(zhǔn)確性超出了預(yù)期，尤其對設(shè)備維護(hù)階段的燈管老化判斷和消毒工藝的劑量驗(yàn)證提供了直接的量化依據(jù)。

USHIO 檢測事業(yè)部負(fù)責(zé)人表示：“UVD-C254 的推出，是我們響應(yīng)行業(yè)對 254nm 波段精確檢測剛性需求的重要舉措。我們希望通過這款產(chǎn)品，幫助用戶將紫外工藝從‘憑經(jīng)驗(yàn)開燈’升級為‘靠數(shù)據(jù)管控’，為提升工藝一致性和降低運(yùn)維風(fēng)險(xiǎn)提供可靠的技術(shù)支撐。"