目錄:北崎國(guó)際貿(mào)易（北京）有限公司>>EBARA荏原>>排氣減排系統(tǒng)>> G5EBARA荏原燃燒型排氣減排系統(tǒng)-低運(yùn)行成本
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更新時(shí)間：2026-07-25 15:06:42瀏覽次數(shù)：13評(píng)價(jià)
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,農(nóng)林牧漁,機(jī)械設(shè)備 |
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EBARA荏原燃燒型排氣減排系統(tǒng)-低運(yùn)行成本
EBARA荏原燃燒型排氣減排系統(tǒng)-低運(yùn)行成本
G5系列是一種燃燒式排氣排放系統(tǒng)，能夠高效地去除制造過(guò)程中使用的多種氣體。能夠批量處理多種氣體，并高效處理通常難以去除的PFCs。通過(guò)獨(dú)特的副產(chǎn)品去除措施和可變?nèi)剂象w積的按需運(yùn)行，以適應(yīng)被排減的氣體種類和體積，G5型實(shí)現(xiàn)了運(yùn)行成本的降低。非常適合半導(dǎo)體、液晶面板、太陽(yáng)能電池和LED、化學(xué)材料制造以及研究實(shí)驗(yàn)室等電氣元件的制造操作。產(chǎn)品線包括流量為1200升/分鐘的大容量型號(hào)。
G5 系列
通用燃燒減排設(shè)備，可處理多種混合工藝氣體，全氟氣體分解效率超 99%。自帶粉塵自動(dòng)清理結(jié)構(gòu)，燃料消耗可調(diào)節(jié)，降低運(yùn)行能耗。最大處理流量 1200L/min，用于刻蝕、CVD、LED 常規(guī)生產(chǎn)線，具備行業(yè)安全認(rèn)證。
G6-E 系列
半導(dǎo)體外延工藝專用機(jī)型，適配 MOCVD、碳化硅、氮化鎵第三代半導(dǎo)體產(chǎn)線，可大流量處理高濃度氫氣、氯氣尾氣。
TND 系列
低氮氧化物、低一氧化碳環(huán)保燃燒機(jī)型，優(yōu)化燃燒室結(jié)構(gòu)，減少污染物二次生成。針對(duì)高粉塵廢氣做防腐防堵改造，維護(hù)周期更長(zhǎng)。高配型號(hào)增設(shè)前置水洗，處理雜質(zhì)含量高的廢氣穩(wěn)定性更好。
溫室氣體：四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫、三氟化氮等全氟類化合物；
酸性腐蝕氣體：氯化氫、氯氣、六氟化鎢、四氟化硅；
易燃易爆氣體：氫氣、硅烷等工藝可燃尾氣。
安全防護(hù)：配備高溫、壓力、燃?xì)舛嘀芈?lián)鎖保護(hù)，異常工況自動(dòng)停機(jī)報(bào)警；
占地緊湊：立式機(jī)柜結(jié)構(gòu)，豎向布局節(jié)省地面空間；
運(yùn)維簡(jiǎn)便：易損耗配件集中布置在設(shè)備正面，單人即可完成更換、清潔；
防腐耐用：接觸廢氣的腔體、管路采用耐氟、耐酸特種材質(zhì)，長(zhǎng)期使用不易腐蝕滲漏。
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