可處理廢氣種類

1. 溫室氣體：四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫、三氟化氮等全氟類化合物；

2. 酸性腐蝕氣體：氯化氫、氯氣、六氟化鎢、四氟化硅；

3. 易燃易爆氣體：氫氣、硅烷等工藝可燃尾氣

特色與優勢

• GCR模型是一種催化式排氣減排系統，能夠高效分解和去除氣體，包括用于蝕刻氧化物半導體薄膜的PFC氣體，運行成本較低。

• 規格

• 類型		單位	GCR120*	GCR250
  減排方法			催化+濕式	催化+濕式
  反應堆生命檢測器			PFC探測器	PFC探測器
  最大流入氣體體積		L/min	120	250
  尺寸		寬 x 深 x 高 毫米	1,200×600×1,800毫米	1,400×700×1,850毫米
  氣體（例如）			CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6、C5F8、C4F6、NF3、HF、F2、SiF4、CO、COF2、N2O等。	CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6、C5F8、C4F6、NF3、HF、F2、SiF4、CO、COF2、N2O等。