特色與優勢

• 每種目標工藝氣體都可以選擇最合適的吸附劑，使其適用于廣泛的應用。

• 規格

• 類型		單位	GTE-3-0	GTE-0-2	GTC-1-0	GTC-2-0	GTC-6-0	GTC-0-1
  減排方法			干的	干的	干的	干的	干的	干的
  最大流入氣體體積		L/min	100	80	100	100	100	100
  維度單曲		寬 x 深 x 高 毫米	600x600x2000	900x600x2000	600x600x2000	600x600x2000	600x600x2000	600x600x2000
  維度對偶		寬 x 深 x 高 毫米	900x600x2000	-	900x600x2000	900x600x2000	900x600x2000	900x600x2000
  氣體（例如）			硼、氯化、血鐺、血紅、氟化硅、、高碳、碳纖維、碳五、氯化、氯化纖維、氯化纖維蛋白、氯化纖維蛋白、氯化、四叉戟、氯化、四氟化、四氟化、硅化、四氟化、四氟化、高血酸、、高頻、高碳、高碳、碳、五、五、四、等等。	NF3、N2O、NO2、SiF4、HF、F2等。	SiH4、pH3、AsH3、TMS等。	NH3、SiH2Cl2、SiCl4等。	TEOS、TMB、TME、O3等。	ClF3、HF、F2、鹽酸等。