EBARA荏原  真空泵  智能控溫

EBARA荏原  真空泵  智能控溫

EV-X 是荏原半導體 / 光伏專用中負荷無油干式螺桿真空泵，替代 EV-M/EV-S 老款，日系原裝緊湊型真空設備，不屬于輸水離心泵，用于制程真空抽取。

層級定位：中重載干式螺桿泵，兼顧輕度腐蝕工藝氣體，滿足 SEMI-S2 半導體行業標準、CE 認證；

核心產品特點

結構與體積優勢

緊湊型立式柜體設計，占地面積比競品縮小 30% 以上，Subfab 下層設備間易排布；

模塊化螺桿轉子總成，整機拆裝、更換配件無需整體拆機；

內置萬向腳輪，移位、檢修移動便捷；

全風冷散熱系統，省去水冷管路、循環水配套，降低基建成本。

干式無油核心特性

無油螺桿非接觸轉子，全程無潤滑油污染真空腔體，適配高精度薄膜、光刻制程；

轉子間隙精密優化，高氣體流量下無返氣，真空度穩定；

溫度全域智能控溫，抑制工藝副產物凝結，減少泵腔積垢。

節能性能

低待機功耗，極限真空下僅 0.9~1.5kW，對比上代 EV 系列節電 25%~38%；

變頻適配可選，根據制程負荷自動調節轉速，進一步降低能耗；

寬頻電機，50/60Hz 通用，出口設備無需改機。

耐腐蝕耐久設計

轉子、泵腔特種防腐涂層，耐受等離子、鹵素、微量酸堿工藝氣體；

可選升級強防腐套件，適配高腐蝕刻蝕制程；

低磨損轉子結構，易損件更換周期大幅延長，整機綜合使用成本 TC o 更低。

應用場景

半導體行業：干法刻蝕、CVD 薄膜沉積、等離子灰化、離子注入、外延設備；

光伏新能源：電池片鍍膜、硅片清洗真空、PECVD 制膜；

顯示面板：OLED/LCD 蒸鍍、刻蝕真空腔體；

通用精密真空：光學鍍膜、熱處理真空爐、實驗室真空設備。