大昌洋行（上海）有限公司（大昌華嘉科學儀器部）
Microtrac應用：SYNC激光粒度儀在半導體行業中的應用
檢測樣品：拋光漿料
檢測項目：粒徑分布
方案概述：在半導體制造過程中，拋光漿料的粒度分布直接影響晶圓表面的平整度。麥奇克（Microtrac）激光粒度儀SYNC能夠精確測量拋光漿料中磨料的粒徑分布，確保其符合工藝的要求。通過監測漿料的D10、D50、D90等關鍵參數，可以有效控制拋光質量，減少表面缺陷。
麥奇克（Microtrac）激光粒度儀SYNC在半導體行業中發揮著至關重要的角色，其應用貫穿于從半導體制造到顯示技術、電子封裝以及新興電子材料研發的各個環節。
在半導體制造過程中，拋光漿料的粒度分布直接影響晶圓表面的平整度。麥奇克（Microtrac）激光粒度儀SYNC能夠精確測量拋光漿料中磨料的粒徑分布，確保其符合工藝的要求。通過監測漿料的D10、D50、D90等關鍵參數，可以有效控制拋光質量，減少表面缺陷。
化學機械拋光（CMP）是半導體制造中的關鍵工藝。麥奇克（Microtrac）激光粒度儀SYNC可監測CMP拋光漿料中顆粒的粒度變化，為工藝優化提供數據支持。例如，通過調整漿料中磨料的粒徑分布，可以優化拋光速率和表面質量，提高產品良率。
麥奇克（Microtrac）的激光粒度儀SYNC采用靜態激光衍射法測量顆粒的大小及分布。采用專利的三激光設計（2個405nm波長的固體激光器和1個780nm波長的固體激光器），得到非常寬的測試范圍0.01-4000µm，覆蓋了從納米到毫米不同量級的顆粒測量。配備全自動濕法進樣系統FLOWSYNC，可以實現全自動操測量和清洗，無需手動清洗。
本文采用麥奇克（Microtrac）的激光粒度儀SYNC來測量拋光液的粒徑及其分布。
激光粒度儀SYNC測量SiO2粒度及其分布
激光粒度儀SYNC測量CeO2粒度及其分布
從上述數據看，麥奇克（Microtrac）的激光粒度儀SYNC除了測量常規的微米級別顆粒，但由于其配置了2個405nm的激光器，提高了對亞微米顆粒測量的準確性，能夠完全覆蓋納米級別的顆粒粒徑測量，而且數據的重復性也非常好，為半導體行業的客戶提供了最好的顆粒表征儀器。
相關產品清單
溫馨提示：
1.本網展示的解決方案僅供學習、研究之用，版權歸屬此方案的提供者，未經授權，不得轉載、發行、匯編或網絡傳播等。
2.如您有上述相關需求，請務必先獲得方案提供者的授權。
3.此解決方案為企業發布，信息內容的真實性、準確性和合法性由上傳企業負責，化工儀器網對此不承擔任何保證責任。
