溫控器 INR-494-009是 SMC 專為半導體濕法工藝、精密檢測設備打造的水冷型珀耳帖循環液溫控裝置，依托半導體熱電效應實現冷熱雙向調溫，整機不含壓縮機與氟利昂冷媒，不受全球 F-Gas 含氟氣體法規約束，綠色合規適配出口設備與潔凈智能工廠，廣泛用于晶圓清洗、蝕刻、微量化學試劑恒溫反應、光學元器件標定等高精度溫控工況。

溫控器 INR-494-009依靠珀耳帖元件快速切換制冷、加熱模式，無壓縮機啟停造成的溫度震蕩。溫控區間覆蓋 0℃至 60℃，搭載熱電專用高精度 PID 閉環調控算法，溫度穩定度可達 ±0.03℃，可快速抵消化學反應放熱、車間環境溫差、元器件動態產熱帶來的溫度偏移，穩定工藝溫度，避免蝕刻速率不均、芯片檢測數據失真、光學元件熱變形等工藝缺陷。

整機接觸循環介質的管路、腔體全部采用耐腐蝕不銹鋼與高純樹脂材質，不含銅、鋁易析出金屬，可適配純水、乙二醇水溶液、氟化液等多種導熱介質，不會污染晶圓與精密試樣；內部搭載專用耐腐蝕循環泵與精密前置過濾組件，持續過濾藥液微小雜質，長期運行不易管路積垢、堵塞、滲漏。

設備采用一體式水冷換熱結構，換熱效率高，不向潔凈車間排放多余熱量；整機無壓縮機機械震動，運行噪音低至 45dBA，適配半導體無塵車間、靜音精密實驗室等對震動、噪音高度敏感的作業環境。機身配備高清數字操作面板，可實時顯示介質溫度、循環流量、機組運行壓力與故障代碼，溫度上下限、超溫報警閾值可快速自定義設定；標配 RS485 通訊接口，可對接產線 PLC 控制系統，實現遠程參數修改、運行數據存儲與故障信號上傳，自動化集成能力優異。

整機搭載全套安全防護體系，包含藥液低液位保護、珀耳帖元件過熱保護、超溫自動停機、耐腐蝕泵過載保護、冷卻水斷流保護等功能，出現缺水、漏液、溫度超標、泵體異常等故障時即刻停機告警，保護后端高價精密工藝設備。設備結構緊湊，耐腐蝕濾芯、密封配件拆裝簡易，日常僅需定期更換過濾耗材、清洗循環管路，運維成本低廉，可支持半導體、化工產線 24 小時不間斷連續運行。

INR-494-009 憑借無氟環保熱電調溫、超高恒溫精度、耐腐蝕介質適配、低震靜音水冷運行、便捷自動化對接的多重優勢，為半導體濕法工藝、精密理化實驗室提供穩定合規、長效耐用的標準化溫控解決方案。