溫控器 INR-498-012E為 SMC 大功率水冷 CO?冷媒循環溫控設備，歸屬于 INR-498 系列，主打低碳環保與高負載恒溫管控，面向半導體等離子刻蝕、薄膜沉積、晶圓探針測試等潔凈工藝打造。設備采用天然 R744 二氧化碳作為制冷介質，無含氟成分，GWP 數值趨近于 1，規避歐盟 F-Gas 等全球冷媒管控法規限制，是傳統高 GWP 冷媒溫控設備的理想替換機型。

溫控器 INR-498-012E搭載跨臨界高效 CO?制冷系統，配套獨立大功率電加熱補償模塊，額定冷卻功率 12kW，溫控區間覆蓋 - 20℃至 70℃，適配高低溫多工藝需求。內置工業多段 PID 閉環調控程序，動態熱負荷下溫度響應迅速，溫度穩定精度可達 ±1℃，能夠快速抵消芯片持續產熱、潔凈廠房環境溫差帶來的溫度偏移，穩定氟化液循環溫度，避免晶圓檢測數據偏差、薄膜鍍膜厚度不均、刻蝕速率失衡等工藝不良問題。

整機介質循環管路專為半導體氟化液設計，所有接觸介質腔體、管道均采用無銅防腐不銹鋼材質，杜絕金屬離子析出污染晶圓產品；配備大流量耐腐蝕循環泵與高精度前置過濾組件，持續過濾介質內部細微雜質，長期運行管路不易積垢堵塞。設備采用一體化水冷換熱結構，換熱效率優異，運行過程不會向無塵車間散發熱量，機身標準化緊湊型工業造型，可直接匹配原有產線安裝空間，無需大范圍改造產線布局。

機身配備集成高清數顯操作面板，可實時監測介質溫度、循環流量、機組運行壓力及故障代碼，溫度區間、多級報警閾值均可直觀設定；標配 RS485 工業通訊接口，可對接產線 PLC 系統，實現遠程參數調節、運行數據存儲、故障信號遠程上傳，適配全自動智能化半導體生產線。

設備搭載全套高階安全防護機制，包含介質低液位保護、壓縮機高低壓過載保護、超溫自動停機、冷卻水斷流保護、低溫防凍保護等，出現故障立即停機告警，全面保護昂貴半導體工藝設備。內部濾芯、密封件、循環泵等易損配件拆裝便捷，日常僅需定期清潔濾網、更換循環介質，運維成本低，可支撐產線 24 小時不間斷連續量產。

INR-498-012E 憑借 CO?無氟環保冷媒、12kW 大功率寬溫域精準控溫、潔凈防腐循環回路、水冷高效散熱、自動化智能聯動的核心優勢，為半導體高負載精密工藝提供長效穩定、合規低碳的標準化溫控解決方案。